Սարքավորումն ընդունում է էլեկտրոնային ճառագայթների գոլորշիացման տեխնոլոգիան:Էլեկտրոնները արտանետվում են կաթոդի թելից և կենտրոնանում որոշակի ճառագայթային հոսանքի մեջ, որն արագանում է կաթոդի և կարասի միջև ընկած պոտենցիալով՝ հալեցնելու և գոլորշիացնելու ծածկույթի նյութը:Այն ունի բարձր էներգիայի խտության բնութագրեր և կարող է գոլորշիացնել ծածկույթի նյութը ավելի քան 3000 ℃ հալման կետով:Ֆիլմն ունի բարձր մաքրություն և բարձր ջերմային արդյունավետություն:
Սարքավորումը հագեցած է էլեկտրոնային ճառագայթների գոլորշիացման աղբյուրով, իոնային աղբյուրով, թաղանթի հաստության մոնիտորինգի համակարգով, թաղանթի հաստության ուղղման կառուցվածքով և հովանոցային աշխատանքային մասի պտտման կայուն համակարգով:Իոնային աղբյուրի օժանդակ ծածկույթի միջոցով թաղանթի կոմպակտությունը մեծանում է, բեկման ինդեքսը կայունանում է, և խոնավության պատճառով ալիքի երկարության տեղաշարժը խուսափում է:Ֆիլմի հաստության իրական ժամանակի մոնիտորինգի լրիվ ավտոմատ համակարգը կարող է ապահովել գործընթացի կրկնելիությունը և կայունությունը:Այն հագեցած է ինքնահալման ֆունկցիայով՝ նվազեցնելու կախվածությունը օպերատորի հմտություններից:
Սարքավորումը կիրառելի է տարբեր օքսիդների և մետաղական ծածկույթի նյութերի համար և կարող է պատվել բազմաշերտ ճշգրիտ օպտիկական թաղանթներով, ինչպիսիք են AR ֆիլմը, երկար ալիքի անցումը, կարճ ալիքի անցումը, լուսավորող թաղանթը, AS / AF ֆիլմը, IRCUT, գունավոր ֆիլմերի համակարգը: , գրադիենտ ֆիլմերի համակարգ և այլն: Այն լայնորեն կիրառվում է AR ակնոցների, օպտիկական ոսպնյակների, տեսախցիկների, օպտիկական ոսպնյակների, ֆիլտրերի, կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ և այլն: