ԱՊՐԱՆՔԻ ՆԿԱՐԱԳՐՈՒԹՅՈՒՆԸ
Քիմիական գոլորշիների նստեցման սարքավորումների վակուումային ծածկույթի խցիկը ընդունում է անկախ երկշերտ ջրային հովացման կառուցվածք, որն արդյունավետ և միատեսակ է սառեցման մեջ և ունի անվտանգ և կայուն կառուցվածք:Սարքավորումը նախագծված է կրկնակի դռներով, բազմաթիվ դիտման պատուհաններով և բազմակի ընդարձակման միջերեսներով, ինչը հարմար է օժանդակ ծայրամասային սարքերի արտաքին միացման համար, ինչպիսիք են ինֆրակարմիր ջերմաստիճանի չափումը, սպեկտրային անալիզը, վիդեո մոնիտորինգը և ջերմազույգը:Դիզայնի առաջադեմ հայեցակարգը հեշտ ու պարզ է դարձնում սարքավորումների ամենօրյա հիմնանորոգումն ու սպասարկումը, կոնֆիգուրացիայի փոփոխությունն ու արդիականացումը, ինչպես նաև արդյունավետորեն նվազեցնում է օգտագործման և արդիականացման ծախսերը:
Սարքավորման առանձնահատկությունները.
1. Սարքավորման ինֆլյացիայի բաղադրիչները հիմնականում ներառում են զանգվածային հոսքաչափ, էլեկտրամագնիսական փական և գազի խառնիչ բաք, որոնք ապահովում են տեխնոլոգիական գազի հոսքի ճշգրիտ վերահսկում, տարբեր գազերի միատեսակ խառնուրդ և անվտանգ մեկուսացում և կարող են ընտրել գազի համակարգի բաղադրիչները օգտագործման համար: հեղուկ գազի աղբյուր, հեշտացնում է հեղուկ ածխածնի աղբյուրների լայն տեսականի անհատականացված ընտրությունը և սինթետիկ հաղորդիչ ադամանդի և էլեկտրոդային հեղուկ բորի աղբյուրների անվտանգ օգտագործումը:
2. Օդի արդյունահանման ժողովը հագեցած է լուռ և արդյունավետ պտտվող վակուումային պոմպով և տուրբո մոլեկուլային պոմպի համակարգով, որը կարող է արագորեն հանդիպել բարձր վակուումային ֆոնային միջավայրին:Կոմպոզիտային վակուումաչափը դիմադրության չափիչով և իոնացման չափիչով օգտագործվում է վակուումի չափման համար, ինչպես նաև կոնդենսիվ թաղանթաչափ համակարգը, որը կարող է չափել տարբեր պրոցեսի գազերի ճնշումը լայն տիրույթում:Տեղակայման ճնշումը լիովին ավտոմատ կերպով վերահսկվում է բարձր ճշգրտության համամասնական կառավարման փականով:
3. Սառեցման ջրի բաղադրիչը հագեցած է ջրի բազմալիքային ճնշման, հոսքի, ջերմաստիճանի չափման և ծրագրային ավտոմատ մոնիտորինգի միջոցով:Սառեցման տարբեր բաղադրիչներ միմյանցից անկախ են, ինչը հարմար է անսարքությունների արագ ախտորոշման համար:Բոլոր մասնաճյուղերն ունեն անկախ փականի անջատիչներ, որն անվտանգ է և արդյունավետ:
4. Էլեկտրական կառավարման բաղադրիչները ընդունում են մեծ չափի մարդ-մեքենա ինտերֆեյսի LCD էկրան և համագործակցում են PLC-ի լրիվ ավտոմատ կառավարման հետ՝ հեշտացնելու գործընթացի բանաձևի խմբագրումն ու ներմուծումը:Գրաֆիկական կորը տեսողականորեն ցուցադրում է տարբեր պարամետրերի փոփոխություններն ու արժեքները, իսկ սարքավորումների և գործընթացի պարամետրերը ավտոմատ կերպով գրանցվում և արխիվացվում են՝ հեշտացնելու խնդիրների հետագծումը և տվյալների վիճակագրական վերլուծությունը:
5. The workpiece դարակ հագեցած է servo շարժիչով վերահսկելու բարձրացման եւ իջեցում է substrate սեղանի.Կարելի է ընտրել գրաֆիտի կամ կարմիր պղնձի ենթաշերտի աղյուսակը:Ջերմաստիճանը չափվում է ջերմազույգով։
6. Դարակի բաղադրիչները կարող են նախագծվել որպես ամբողջություն կամ առանձին՝ ըստ հաճախորդի պահանջների՝ հաճախորդների հատուկ բեռնաթափման պահանջները բավարարելու համար:
7. Կնքման ափսեի բաղադրիչները գեղեցիկ և էլեգանտ են:Սարքավորման տարբեր ֆունկցիոնալ մոդուլային տարածքներում կնքման թիթեղները կարող են արագ ապամոնտաժվել կամ բացվել և փակվել ինքնուրույն, ինչը շատ հարմար է օգտագործելու համար:
Տաք թելիկ CVD սարքավորումը հարմար է ադամանդե նյութերի, այդ թվում՝ բարակ թաղանթապատման, ինքնահաստատվող հաստ թաղանթով, միկրոբյուրեղային և նանաբյուրեղային ադամանդով, հաղորդիչ ադամանդով և այլն դնելու համար: ինչպիսիք են սիլիցիումը և սիլիցիումի կարբիդը, սարքերի ջերմության ցրման ծածկույթը, բորով ներծծված հաղորդիչ ադամանդի էլեկտրոդը, էլեկտրոլիտիկ ջրի կամ կոյուղու մաքրումը օզոնային ախտահանում:
| Ընտրովի մոդելներ | ներքին խցիկի չափը |
| HFCVD0606 | φ600*H600 (մմ) |
Հարաբերական ՍԱՐՔԵՐ
Սեղմեք Դիտել
Օքսիդակայուն CVD ծածկույթի սարքավորում
Սարքավորումը հիմնականում ընդունում է քիմիական գոլորշիների նստեցում օքսիդ ֆիլմ պատրաստելու համար, որն ունի արագ նստեցման արագության և ֆիլմի բարձր որակի բնութագրեր:Ինչ վերաբերում է սարքավորումներին...