1. Գոլորշիացման արագությունը կազդի գոլորշիացված ծածկույթի հատկությունների վրա
Գոլորշիացման արագությունը մեծ ազդեցություն ունի նստած թաղանթի վրա:Քանի որ ցածր նստեցման արագությամբ ձևավորված ծածկույթի կառուցվածքը թույլ է և հեշտ է արտադրել մեծ մասնիկների նստվածք, շատ անվտանգ է ընտրել ավելի բարձր գոլորշիացման արագություն՝ ապահովելու ծածկույթի կառուցվածքի կոմպակտությունը:Երբ վակուումային խցիկում մնացորդային գազի ճնշումը հաստատուն է, հիմքի ռմբակոծման արագությունը հաստատուն արժեք է:Հետևաբար, նստեցված թաղանթում պարունակվող մնացորդային գազը ավելի բարձր նստեցման արագություն ընտրելուց հետո կնվազի, այդպիսով նվազեցնելով մնացորդային գազի մոլեկուլների և գոլորշիացված ֆիլմի մասնիկների միջև քիմիական ռեակցիան:Հետեւաբար, ավանդադրված ֆիլմի մաքրությունը կարող է բարելավվել:Հարկ է նշել, որ եթե նստեցման արագությունը չափազանց արագ է, դա կարող է մեծացնել թաղանթի ներքին լարվածությունը, կմեծացնի թաղանթի թերությունները և նույնիսկ կհանգեցնի թաղանթի պատռմանը:Մասնավորապես, ռեակտիվ գոլորշիացման գործընթացում, որպեսզի ռեակցիայի գազը լիովին արձագանքի գոլորշիացման թաղանթային նյութի մասնիկների հետ, կարող եք ընտրել նստվածքի ավելի ցածր արագություն:Իհարկե, տարբեր նյութեր ընտրում են տարբեր գոլորշիացման արագություն:Որպես գործնական օրինակ՝ ռեֆլեկտիվ թաղանթի նստվածքը, եթե թաղանթի հաստությունը 600×10-8 սմ է, իսկ գոլորշիացման ժամանակը 3 վրկ է, անդրադարձողությունը 93% է։Այնուամենայնիվ, եթե գոլորշիացման արագությունը դանդաղում է նույն հաստության պայմաններում, ապա ֆիլմի տեղադրումը ավարտելու համար պահանջվում է 10 րոպե:Այս պահին ֆիլմի հաստությունը նույնն է:Այնուամենայնիվ, ռեֆլեկտիվությունը նվազել է մինչև 68%:
2. Ենթաշերտի ջերմաստիճանը կազդի գոլորշիացման ծածկույթի վրա
Ենթաշերտի ջերմաստիճանը մեծ ազդեցություն ունի գոլորշիացման ծածկույթի վրա:Ենթաշերտի բարձր ջերմաստիճանում ներծծված գազի մնացորդային մոլեկուլները հեշտությամբ հեռացվում են:Առավել կարևոր է հատկապես ջրի գոլորշիների մոլեկուլների վերացումը։Ավելին, ավելի բարձր ջերմաստիճանների դեպքում ոչ միայն հեշտ է նպաստել ֆիզիկական կլանումից քիմիական կլանման փոխակերպմանը, այդպիսով ավելացնելով մասնիկների միջև կապող ուժը:Ավելին, այն կարող է նաև նվազեցնել գոլորշիների մոլեկուլների վերաբյուրեղացման ջերմաստիճանի և ենթաշերտի ջերմաստիճանի միջև տարբերությունը, այդպիսով նվազեցնելով կամ վերացնելով ֆիլմի վրա հիմնված միջերեսի ներքին սթրեսը:Բացի այդ, քանի որ ենթաշերտի ջերմաստիճանը կապված է թաղանթի բյուրեղային վիճակի հետ, հաճախ հեշտ է ձևավորել ամորֆ կամ միկրոբյուրեղային ծածկույթներ՝ հիմքի ցածր ջերմաստիճանի կամ առանց տաքացման պայմաններում:Ընդհակառակը, երբ ջերմաստիճանը բարձր է, հեշտ է ձևավորել բյուրեղային ծածկույթ:Ենթաշերտի ջերմաստիճանի բարձրացումը նպաստում է նաև ծածկույթի մեխանիկական հատկությունների բարելավմանը:Իհարկե, հիմքի ջերմաստիճանը չպետք է չափազանց բարձր լինի ծածկույթի գոլորշիացումը կանխելու համար:
3. Վակուումային խցիկում գազի մնացորդային ճնշումը կազդի ֆիլմի հատկությունների վրա
Վակուումային խցիկում մնացորդային գազի ճնշումը մեծ ազդեցություն ունի մեմբրանի աշխատանքի վրա։Չափազանց բարձր ճնշում ունեցող գազի մնացորդային մոլեկուլները ոչ միայն հեշտ են բախվում գոլորշիացող մասնիկների հետ, ինչը կնվազեցնի ենթաշերտի վրա գտնվող մարդկանց կինետիկ էներգիան և կազդի թաղանթի կպչունության վրա:Բացի այդ, չափազանց բարձր մնացորդային գազի ճնշումը լրջորեն կազդի ֆիլմի մաքրության վրա և կնվազեցնի ծածկույթի կատարումը:
4. Գոլորշիացման ջերմաստիճանի ազդեցությունը գոլորշիացման ծածկույթի վրա
Գոլորշիացման ջերմաստիճանի ազդեցությունը մեմբրանի աշխատանքի վրա դրսևորվում է ջերմաստիճանի հետ գոլորշիացման արագության փոփոխությամբ:Երբ գոլորշիացման ջերմաստիճանը բարձր է, գոլորշիացման ջերմությունը կնվազի:Եթե թաղանթային նյութը գոլորշիացվում է գոլորշիացման ջերմաստիճանից բարձր, ապա նույնիսկ ջերմաստիճանի աննշան փոփոխությունը կարող է առաջացնել թաղանթային նյութի գոլորշիացման արագության կտրուկ փոփոխություն:Հետևաբար, շատ կարևոր է թաղանթի նստեցման ժամանակ գոլորշիացման ջերմաստիճանը ճշգրիտ վերահսկել՝ գոլորշիացման աղբյուրի տաքացման ժամանակ ջերմաստիճանի մեծ գրադիենտից խուսափելու համար:Ֆիլմի նյութի համար, որը հեշտ սուբլիմացվող է, շատ կարևոր է նաև ընտրել հենց նյութը որպես գոլորշիացման և այլ միջոցների ջեռուցիչ:
5. Ենթաշերտի և ծածկույթի խցիկի մաքրման վիճակը կազդի ծածկույթի աշխատանքի վրա
Չի կարելի անտեսել ենթաշերտի և ծածկույթի խցիկի մաքրության ազդեցությունը ծածկույթի աշխատանքի վրա:Դա ոչ միայն լրջորեն կանդրադառնա նստած թաղանթի մաքրության վրա, այլև կնվազեցնի ֆիլմի կպչունությունը:Հետևաբար, ենթաշերտի մաքրումը, վակուումային ծածկույթի խցիկի և դրա հարակից բաղադրիչների (օրինակ՝ ենթաշերտի շրջանակի) մաքրումը և մակերեսի գազազերծումը բոլորն անփոխարինելի գործընթացներ են վակուումային ծածկույթի գործընթացում:
Հրապարակման ժամանակը՝ Փետրվար-28-2023