Iekārta izmanto elektronu staru iztvaikošanas tehnoloģiju.Elektroni tiek emitēti no katoda kvēldiega un fokusēti noteiktā staru strāvā, ko paātrina potenciāls starp katodu un tīģeli, lai izkausētu un iztvaicētu pārklājuma materiālu.Tam ir augsta enerģijas blīvuma īpašības, un tas var iztvaikot pārklājuma materiālu ar kušanas temperatūru, kas pārsniedz 3000 ℃.Plēvei ir augsta tīrības pakāpe un augsta termiskā efektivitāte.
Iekārta ir aprīkota ar elektronu staru iztvaikošanas avotu, jonu avotu, plēves biezuma uzraudzības sistēmu, plēves biezuma korekcijas struktūru un stabilu lietussargu sagataves rotācijas sistēmu.Izmantojot jonu avota pārklājumu, tiek palielināts plēves kompaktums, stabilizēts refrakcijas indekss un novērsta mitruma izraisīta viļņa garuma maiņa.Pilnībā automātiskā plēves biezuma reāllaika uzraudzības sistēma var nodrošināt procesa atkārtojamību un stabilitāti.Tas ir aprīkots ar pašizkausēšanas funkciju, lai samazinātu atkarību no operatora prasmēm.
Iekārta ir piemērota dažādiem oksīdiem un metāla pārklājuma materiāliem, un to var pārklāt ar daudzslāņu precīzām optiskām plēvēm, piemēram, AR plēvi, garo viļņu caurlaidi, īsviļņu caurlaidi, izgaismojošu plēvi, AS / AF plēvi, IRCUT, krāsu filmu sistēmu. , gradientu plēvju sistēma utt. To plaši izmanto AR brillēm, optiskajām lēcām, kamerām, optiskajām lēcām, filtriem, pusvadītāju rūpniecībā utt.