HFCVD0606

Ķīmiskās tvaiku pārklāšanas iekārtas vakuuma pārklājuma kamerai ir neatkarīga divslāņu ūdens dzesēšanas struktūra, kas ir efektīva un vienmērīga dzesēšanā, un tai ir droša un stabila struktūra.Iekārta ir izstrādāta ar dubultdurvīm, vairākiem novērošanas logiem un vairākām paplašināšanas saskarnēm, kas ir ērta papildu perifērijas ierīču, piemēram, infrasarkanās temperatūras mērīšanas, spektrālās analīzes, video novērošanas un termopāra ārējai pieslēgšanai.Uzlabotā dizaina koncepcija padara ikdienas kapitālremontu un apkopi, konfigurācijas maiņu un aprīkojuma jaunināšanu vienkāršu un vienkāršu, kā arī efektīvi samazina lietošanas un jaunināšanas izmaksas.

Iekārtas īpašības:

1. Iekārtas piepūšamās sastāvdaļas galvenokārt ietver masas plūsmas mērītāju, solenoīda vārstu un gāzes sajaukšanas tvertni, kas nodrošina precīzu procesa gāzes plūsmas kontroli, vienmērīgu sajaukšanu un dažādu gāzu drošu izolāciju, kā arī var izvēlēties gāzes sistēmas komponentus izmantošanai šķidrās gāzes avots, atvieglo personalizētu plaša klāsta šķidrā oglekļa avotu izvēli un drošu sintētisko vadošo dimantu un elektrodu šķidrā bora avotu izmantošanu.
2. Gaisa nosūkšanas mezgls ir aprīkots ar klusu un efektīvu rotācijas lāpstiņu vakuuma sūkni un turbo molekulāro sūkņu sistēmu, kas var ātri apmierināt augsta vakuuma fona vidi.Vakuuma mērīšanai tiek izmantots saliktais vakuuma mērītājs ar pretestības mērītāju un jonizācijas mērītāju, kā arī kapacitatīvās plēves mērīšanas sistēma, kas var izmērīt dažādu procesa gāzu spiedienu plašā diapazonā.Nogulsnēšanas spiedienu pilnībā kontrolē ar augstas precizitātes proporcionālo vadības vārstu.
3.Dzesēšanas ūdens komponents ir aprīkots ar daudzu kanālu ūdens spiediena, plūsmas, temperatūras mērīšanas un programmatūras automātisko uzraudzību.Dažādi dzesēšanas komponenti ir neatkarīgi viens no otra, kas ir ērti ātrai defektu diagnostikai.Visās filiālēs ir neatkarīgi vārstu slēdži, kas ir droši un efektīvi.
4. Elektriskās vadības komponenti izmanto liela izmēra cilvēka un mašīnas saskarnes LCD ekrānu un sadarbojas ar PLC pilnībā automātisko vadību, lai atvieglotu procesa formulas rediģēšanu un importēšanu.Grafiskā līkne vizuāli parāda dažādu parametru izmaiņas un vērtības, un iekārtas un procesa parametri tiek automātiski reģistrēti un arhivēti, lai atvieglotu problēmu izsekošanu un datu statistisko analīzi.
5.Sagataves plaukts ir aprīkots ar servomotoru, lai kontrolētu pamatnes galda pacelšanu un nolaišanu.Var izvēlēties grafīta vai sarkanā vara substrāta tabulu.Temperatūru mēra ar termopāri.
6. Plaukta komponentus var veidot kopumā vai atsevišķi atbilstoši klientu prasībām, lai tie atbilstu klientu īpašajām apstrādes prasībām.
7. Blīvēšanas plāksnes sastāvdaļas ir skaistas un elegantas.Blīvplāksnes dažādās iekārtas funkcionālo moduļu zonās var ātri izjaukt vai neatkarīgi atvērt un aizvērt, kas ir ļoti ērti lietošanā.

Karstā kvēldiega CVD iekārta ir piemērota dimanta materiālu, tostarp plānslāņa pārklājuma, pašnesoša biezas plēves, mikrokristāliskā un nanokristāliskā dimanta, vadošā dimanta uc, uzklāšanai. To galvenokārt izmanto cementēta karbīda griezējinstrumentu, pusvadītāju materiālu nodilumizturīgam aizsargpārklājumam. piemēram, silīcijs un silīcija karbīds, ierīču siltuma izkliedes pārklājums, ar boru leģēts vadošs dimanta elektrods, elektrolītiskā ūdens dezinfekcija ar ozonu vai notekūdeņu attīrīšana.