Iekārtā ir integrēta magnetrona izsmidzināšanas un pretestības iztvaikošanas tehnoloģija, un tā nodrošina risinājumu dažādu substrātu pārklāšanai.
Eksperimentālās pārklājuma iekārtas galvenokārt tiek izmantotas universitātēs un zinātniskās pētniecības iestādēs, un tās var apmierināt dažādas eksperimentālās prasības.Iekārtām ir rezervēti dažādi strukturālie mērķi, kurus var elastīgi konfigurēt, lai tie atbilstu zinātniskajai izpētei un attīstībai dažādās jomās.Var izvēlēties magnetronu izsmidzināšanas sistēmu, katoda loka sistēmu, elektronu staru iztvaicēšanas sistēmu, pretestības iztvaicēšanas sistēmu, CVD, PECVD, jonu avotu, slīpo sistēmu, apkures sistēmu, trīsdimensiju armatūru utt.Klienti var izvēlēties atbilstoši savām dažādajām vajadzībām.
Iekārtai ir skaista izskata, kompaktas struktūras, nelielas grīdas platības, augsta automatizācijas pakāpe, vienkārša un elastīga darbība, stabila veiktspēja un vienkārša apkope.
Iekārtu var uzklāt uz plastmasas, nerūsējošā tērauda, galvanizētām aparatūras/plastmasas daļām, stikla, keramikas un citiem materiāliem.Var sagatavot vienkāršus metāla slāņus, piemēram, titāna, hroma, sudraba, vara, alumīnija vai metāla savienojumu plēves, piemēram, TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600 (mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |