Izsmidzināšanas pārklājuma plēvju raksturojums

① Laba plēves biezuma vadāmība un atkārtojamība

To, vai plēves biezumu var kontrolēt ar iepriekš noteiktu vērtību, sauc par plēves biezuma kontrolējamību.Nepieciešamo plēves biezumu var atkārtot vairākas reizes, ko sauc par plēves biezuma atkārtojamību. Tā kā vakuuma izsmidzināšanas pārklājuma izlādes strāvu un mērķa strāvu var kontrolēt atsevišķi.Tāpēc izsmidzinātās plēves biezums ir kontrolējams, un plēvi ar iepriekš noteiktu biezumu var droši uzklāt.Turklāt izsmidzināšanas pārklājums uz lielas virsmas var iegūt plēvi ar vienmērīgu biezumu.

② Spēcīga saķere starp plēvi un pamatni

Izsmidzināto atomu enerģija ir par 1-2 kārtām lielāka nekā iztvaicēto atomu enerģija.Uz pamatnes nogulsnēto augstas enerģijas izsmidzināto atomu enerģijas pārveide ir daudz augstāka nekā iztvaicētajiem atomiem, kas rada lielāku siltumu un uzlabo adhēziju starp izsmidzinātajiem atomiem un substrātu.Turklāt daži augstas enerģijas izsmidzinātie atomi rada dažādas injekcijas pakāpes, veidojot pseidodifūzijas slāni uz substrāta.Turklāt plēves veidošanas procesā substrāts vienmēr tiek notīrīts un aktivizēts plazmas reģionā, kas noņem izsmidzinošos atomus ar vāju adhēziju, kā arī attīra un aktivizē substrāta virsmu.Tāpēc uzputinātajai plēvei ir spēcīga saķere ar pamatni.

③ Var sagatavot jaunu materiāla plēvi, kas atšķiras no mērķa

Ja izsmidzināšanas laikā tiek ievadīta reaktīvā gāze, lai tā reaģētu ar mērķi, var iegūt jaunu materiāla plēvi, kas pilnīgi atšķiras no mērķa.Piemēram, silīciju izmanto kā izsmidzināšanas mērķi, un skābeklis un argons tiek ievietoti vakuuma kamerā kopā.Pēc izsmidzināšanas var iegūt SiOz izolācijas plēvi.Izmantojot titānu kā izsmidzināšanas mērķi, slāpeklis un argons kopā tiek ievietoti vakuuma kamerā, un pēc izsmidzināšanas var iegūt fāzes TiN zeltam līdzīgu plēvi.

④ Augsta tīrības pakāpe un laba plēves kvalitāte

Tā kā izsmidzināšanas plēves sagatavošanas ierīcē nav tīģeļa komponenta, tīģeļa sildītāja materiāla sastāvdaļas netiks sajauktas izsmidzināšanas plēves slānī.Izsmidzināšanas pārklājuma trūkumi ir tādi, ka plēves veidošanās ātrums ir mazāks nekā iztvaikošanas pārklājumam, substrāta temperatūra ir augstāka, to viegli ietekmē piemaisījumu gāze, un ierīces struktūra ir sarežģītāka.

Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua, ražotājsvakuuma pārklājuma iekārtas