Mazā loka avota jonu pārklājuma process

Katoda loka avota jonu pārklāšanas process būtībā ir tāds pats kā citām pārklāšanas tehnoloģijām, un dažas darbības, piemēram, sagatavju uzstādīšana un putekļsūcējs, vairs netiek atkārtotas.

1.Sagatavju tīrīšana ar bombardēšanu

Pirms pārklāšanas pārklājuma kamerā ar vakuumu 2×10-2Pa ievada argona gāzi.

Ieslēdziet impulsa nobīdes barošanas avotu ar darba ciklu 20% un sagataves nobīdi 800–1000 V.

Ieslēdzot loka strāvu, rodas auksta lauka loka gaismas izlāde, kas no loka avota izstaro lielu daudzumu elektronu strāvas un titāna jonu strāvas, veidojot augsta blīvuma plazmu.Titāna jons paātrina iesmidzināšanu sagatavē zem negatīva augsta slīpuma spiediena, kas tiek pielikts uz apstrādājamo priekšmetu, bombardējot un izsmidzinot atlikušās gāzes un piesārņotājus, kas adsorbēti uz sagataves virsmas, un notīrot un attīrot apstrādājamā priekšmeta virsmu;Tajā pašā laikā hlora gāzi pārklājuma kamerā jonizē elektroni, un argona joni paātrina sagataves virsmas bombardēšanu.

Tāpēc bombardēšanas tīrīšanas efekts ir labs.Tikai aptuveni 1 minūte bombardēšanas tīrīšanas var notīrīt apstrādājamo priekšmetu, ko sauc par “galvenā loka bombardēšanu”.Lielās titāna jonu masas dēļ, ja apstrādājamās detaļas bombardēšanai un tīrīšanai tiek izmantots neliels loka avots pārāk ilgi, sagataves temperatūra var pārkarst, un instrumenta mala var kļūt mīksta.Vispārējā ražošanā mazie loka avoti tiek ieslēgti pa vienam no augšas uz leju, un katra mazā loka avota bombardēšanas tīrīšanas laiks ir aptuveni 1 minūte.

(1) Pārklājiet titāna apakšējo slāni

Lai uzlabotu saķeri starp plēvi un pamatni, pirms titāna nitrīda pārklāšanas parasti tiek pārklāts ar tīra titāna substrāta slāni.Noregulējiet vakuuma līmeni uz 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, noregulējiet sagataves nobīdes spriegumu līdz 400-500 V un noregulējiet impulsa nobīdes barošanas avota darba ciklu uz 40% ~ 50%.Joprojām aizdedzina mazo loka avotus pa vienam, lai radītu aukstā lauka loka izlādi.Samazinoties sagataves negatīvajam nobīdes spriegumam, samazinās titāna jonu enerģija.Pēc sagataves sasniegšanas izsmidzināšanas efekts ir mazāks par nogulsnēšanas efektu, un uz sagataves tiek izveidots titāna pārejas slānis, lai uzlabotu savienojuma spēku starp titāna nitrīda cietās plēves slāni un substrātu.Šis process ir arī sagataves sildīšanas process.Kad tīra titāna mērķis ir izlādējies, plazmas gaisma ir debeszila.

1.Amonjaka bļodas cietās plēves pārklājums

Noregulējiet vakuuma pakāpi uz 3 × 10^-1-5Pa, noregulējiet sagataves nobīdes spriegumu līdz 100–200 V un noregulējiet impulsa nobīdes barošanas avota darba ciklu līdz 70% ~ 80%.Pēc slāpekļa ievadīšanas titāns ir kombinēta reakcija ar loka izlādes plazmu, lai nogulsnētu titāna nitrīda cieto plēvi.Šajā brīdī plazmas gaisma vakuuma kamerā ir ķiršu sarkana.Ja C₂H₂, O₂tiek ieviesti uc, TiCN, TiO₂u.c., var iegūt plēves slāņus.

– Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua, avakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājs