Jonu pārklājumsmašīna radās no DM Mattox piedāvātās teorijas 60. gados, un tajā laikā sākās attiecīgi eksperimenti;Līdz 1971. gadam Chambers un citi publicēja elektronu staru jonu pārklājuma tehnoloģiju;Reaktīvās iztvaikošanas pārklājuma (ARE) tehnoloģija tika norādīta Bunshah ziņojumā 1972. gadā, kad tika ražotas īpaši cietas plēves, piemēram, TiC un TiN;Arī 1972. gadā Smits un Molijs pārklāšanas procesā pieņēma dobā katoda tehnoloģiju.Līdz 1980. gadiem jonu pārklāšana Ķīnā beidzot bija sasniegusi rūpnieciskā pielietojuma līmeni, un pārklāšanas procesi, piemēram, vakuuma vairāku loku jonu pārklāšana un loka izlādes jonu pārklāšana, parādījās secīgi.
Viss vakuuma jonu pārklājuma darba process ir šāds: pirmkārt,sūknisvakuuma kamerā un pēc tampagaidivakuuma spiedienu līdz 4X10⁻ ³ Pavai labāk, nepieciešams pieslēgt augstsprieguma barošanas avotu un izveidot zemas temperatūras plazmas laukumu no zemsprieguma izlādes gāzes starp pamatni un iztvaicētāju.Savienojiet substrāta elektrodu ar 5000 V līdzstrāvas negatīvo augstu spriegumu, lai izveidotu katoda kvēlizlādi.Netālu no negatīvās spīduma zonas tiek ģenerēti inertās gāzes joni.Tie nonāk katoda tumšajā zonā, un tos paātrina elektriskais lauks un bombardē substrāta virsmu.Šis ir tīrīšanas process, un pēc tam ievadiet pārklāšanas procesu.Bombardēšanas karsēšanas rezultātā daži pārklājuma materiāli tiek iztvaicēti.Plazmas laukums iekļūst protonos, saduras ar elektroniem un inertās gāzes joniem, un neliela daļa no tiem ir jonizēti, Šie jonizētie joni ar lielu enerģiju bombardēs plēves virsmu un zināmā mērā uzlabos filmas kvalitāti.
Vakuuma jonu pārklājuma princips ir: vakuuma kamerā, izmantojot gāzizlādes fenomenu vai iztvaicētā materiāla jonizēto daļu, iztvaicētā materiāla jonu vai gāzu jonu bombardēšanas laikā šīs iztvaicētās vielas vai to reaģentus vienlaikus nogulsnē uz substrāta. lai iegūtu plānu plēvi.Jonu pārklājumsmašīnaapvieno vakuuma iztvaikošanu, plazmas tehnoloģiju un gāzu izlādi, kas ne tikai uzlabo plēves kvalitāti, bet arī paplašina plēves pielietojuma diapazonu.Šī procesa priekšrocības ir spēcīga difrakcija, laba plēves saķere un dažādi pārklājuma materiāli.Jonu pārklājuma principu pirmo reizi ierosināja DM Mattox.Ir daudz veidu jonu pārklāšanas.Visizplatītākais veids ir iztvaikošanas sildīšana, ieskaitot pretestības sildīšanu, elektronu staru sildīšanu, plazmas elektronu staru sildīšanu, augstfrekvences indukcijas sildīšanu un citas sildīšanas metodes.
Publicēšanas laiks: 14. februāris 2023