Iekārtas galvenokārt izmanto ķīmisko tvaiku pārklāšanu, lai sagatavotu oksīda plēvi, kurai ir ātras nogulsnēšanās ātruma un augstas plēves kvalitātes īpašības.Attiecībā uz aprīkojuma struktūru dubultdurvju konstrukcija tiek izmantota, lai uzlabotu iespīlēšanas efektivitāti, un tiek pieņemta jaunākā šķidrās gāzes padeves sistēma, lai nodrošinātu stabilu un kontrolējamu plūsmu un efektīvi nodrošinātu procesa stabilitāti.Iekārtas sagatavotajai plēvei ir laba ūdens tvaika barjera un ilgāks stabilitātes periods viršanas testā.
Iekārtu var izmantot nerūsējošajam tēraudam, galvanizētām aparatūras / plastmasas daļām, stiklam, keramikai un citiem materiāliem, piemēram, elektroniskiem izstrādājumiem, LED gaismas lodītēm, medicīnas piederumiem un citiem izstrādājumiem, kuriem nepieciešama oksidācijas izturība.SiOx barjerplēve galvenokārt ir sagatavota, lai efektīvi bloķētu ūdens tvaikus, novērstu koroziju un oksidāciju, kā arī uzlabotu produkta kalpošanas laiku.
Izvēles modeļi | iekšējās kameras izmērs |
ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |