Himiki buglary çökdürmek (CVD) tehnologiýasy, gazly maddalary adaty ýa-da pes basyşda himiki reaksiýa arkaly substratyň üstünde gaty film öndürmek üçin ýyladyş, plazma güýçlendirmek, fotosurat we beýleki serişdeleri ulanýan film döredýän tehnologiýa.
Adatça, reaktiwanyň gaz we önümleriň biri bolan reaksiýa CVD reaksiýasy diýilýär.CVD reaksiýasy bilen taýýarlanan örtükleriň köp görnüşi bar, esasanam ýarymgeçiriji prosesinde.Mysal üçin, ýarymgeçiriji meýdançada çig malyň arassalanylmagy, ýokary hilli ýarymgeçirijiniň ýeke kristal filmleriniň taýýarlanylmagy we elektron enjamlardan integral zynjyrlara çenli polikristally we amorf filmleriň ösmegi CVD tehnologiýasy bilen baglanyşykly.Mundan başga-da, materiallaryň ýerüsti bejergisi adamlar tarapyndan makullanýar.Mysal üçin, dürli talaplara laýyklykda, poslama garşylygy, ýylylyga garşylygy, könelmegine garşylygy we ýerüsti berkidilmegi bilen enjamlar, reaktor, aerokosmos, lukmançylyk we himiýa enjamlary ýaly dürli materiallar ulanylyp bilner.
—— Bu makala öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan neşir edildivakuum örtük enjamlary
Iş wagty: Mart-04-2023