Film Filmiň galyňlygynyň gowy dolandyrylyşy we gaýtalanmagy
Filmiň galyňlygyny öňünden kesgitlenen bahada dolandyryp bolýarmy, filmiň galyňlygyna gözegçilik edip bolýar.Gerekli film galyňlygy birnäçe gezek gaýtalanyp bilner, bu filmiň galyňlygynyň gaýtalanmagy diýilýär. Sebäbi wakuum tüýdük örtüginiň çykaryş akymy we maksatly tok aýratyn dolandyrylyp bilner.Şonuň üçin pytraňňy filmiň galyňlygyny dolandyryp bolýar we öňünden kesgitlenen galyňlygy bolan filmi ygtybarly goýup bolýar.Mundan başga-da, tüýdük örtügi uly ýüzünde birmeňzeş galyňlygy bolan film alyp biler.
Film Film bilen substratyň arasynda güýçli ýelmeşme
Dökülen atomlaryň energiýasy bugarýan atomlaryňkydan 1-2 ululyk uludyr.Substratda ýerleşdirilen ýokary energiýa tüýdükli atomlaryň energiýa öwrülişi, ýokary ýylylygy döredýän we dökülen atomlar bilen substratyň arasyndaky ýapyşygy güýçlendirýän bugarýan atomlardan has ýokarydyr.Mundan başga-da, käbir ýokary energiýa bilen dökülen atomlar dürli derejelere sanjym edip, substratda pseudodiffuziýa gatlagyny emele getirýärler.Mundan başga-da, film emele getiriş prosesinde substrat elmydama arassalanýar we işjeňleşýär, bu bolsa ýelmeýän atomlary aýyrýar we substratyň üstüni arassalaýar we işjeňleşdirýär.Şonuň üçin tüýkürilen film substrata berk ýapyşýar.
Target Maksatdan tapawutly täze material filmi taýýarlanyp bilner
Maksada täsir etmek üçin tüýkürmek wagtynda reaktiw gaz girizilse, nyşandan düýpgöter tapawutly täze material film alyp bolar.Mysal üçin, kremniý tüýdük nyşany hökmünde ulanylýar we wakuum kamerasyna kislorod we argon goýulýar.Tüýdükden soň, SiOz izolýasiýa filmini alyp bolýar.Titan tüýdük nyşany hökmünde azot we argon vakuum kamerasyna birleşdirilýär we TiN altyna meňzeş fazany dökülenden soň alyp bolýar.
Fil Filmiň ýokary arassalygy we gowy hili
Tüýdükli film taýýarlaýyş enjamynda hiç hili möhüm komponent ýoklugy sebäpli, ýyladyjy materialyň bölekleri tüýdük film gatlagynda garylmaz.Dökülýän örtügiň kemçilikleri, filmiň emele geliş tizliginiň bugarmak örtüginden has haýal bolmagy, substratyň temperaturasy has ýokary, hapa gazyň täsir etmegi aňsat we enjamyň gurluşy has çylşyrymly.
Bu makala öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan neşir edildivakuum örtük enjamlary
Iş wagty: Mart-09-2023