1. Thewakuum bugarmak örtügiproses film materiallarynyň bugarmagyny, bug atomlarynyň ýokary wakuumda daşalmagyny we iş böleginiň üstündäki bug atomlarynyň ýadrosyny we ösmegini öz içine alýar.
2. Wakuum bugarmak örtüginiň çöketlik wakuum derejesi ýokary, adatça 10-510-3Pa, gaz molekulalarynyň erkin ýoly 1 ~ 10m ululykdaky tertip bolup, bugarmak çeşmesinden iş bölegine çenli has uly, bu aralyk bugarmak aralygy diýilýär, adatça 300 ~ 800mm.Örtük bölejikleri gaz molekulalary we bug atomlary bilen çaknyşyp, iş ýerine ýetip bilmeýär.
3. Wakuum bugarýan örtük gatlagy ýara örtük däl we bug atomlary ýokary vakuum astynda göni iş ýerine geçýär.Diňe iş bölegindäki bugarmak çeşmesine seredýän tarap film gatlagyny alyp biler, eseriň gyrasy we arkasy film gatlagyny alyp bilmez we film gatlagynyň örtügi pes.
4. Wakuum bugarmak örtük gatlagynyň bölejikleriniň energiýasy pes, iş bölegine ýetýän energiýa bolsa bugarmak arkaly alnyp barylýan ýylylyk energiýasydyr.Wakuum bugarmak örtügi wagtynda iş bölegi ikitaraplaýyn däldigi sebäpli, metal atomlary bugarmak döwründe diňe bugarmagyň ýylylygyna bil baglaýarlar, bugarmagyň temperaturasy 1000 ~ 2000 ° C, göterilýän energiýa bolsa 0,1 ~ 0.2eV deňdir, şonuň üçin energiýa film bölejikleri pes, film gatlagy bilen matrisanyň arasyndaky baglanyşyk güýji az we goşma örtük döretmek kyn.
5. Wakuum bugarmak örtük gatlagy inçe gurluşa eýe.Wakuum bugarmak örtügi ýokary wakuum astynda emele gelýär we bugdaky film bölejikleri esasan atom masştabynda bolup, iş böleginiň üstünde inçe ýadro emele getirýär.
Iş wagty: Iýun-14-2023