Katod ark çeşmesi ion örtügi prosesi esasan beýleki örtük tehnologiýalary bilen deňdir we iş böleklerini oturtmak we wakuum etmek ýaly käbir amallar indi gaýtalanmaýar.
1. Iş böleklerini bombalamak
Örtümezden ozal, 2 × 10-2Pa wakuum bilen örtük kamerasyna argon gazy girizilýär.
20% wezipe sikli we 800-1000V iş bölegi bilen impuls ikitaraplaýyn elektrik üpjünçiligini açyň.
Arkanyň güýji açylanda, ýokary dykyzlykly plazmany emele getirip, ýaý çeşmesinden köp mukdarda elektron toguny we titanium ion akymyny çykarýan sowuk meýdan arkasynyň ýagtylygy çykýar.Titan iony, iş bölegine ulanylýan negatiw ýokary basyşly basyş astynda iş bölegine sanjymyny çaltlaşdyrýar, iş böleginiň üstünde ýerleşdirilen galyndy gazy we hapalaýjy maddalary bombalaýar we dökýär, işiň ýüzüni arassalaýar we arassalaýar;Şol bir wagtyň özünde, örtük kamerasyndaky hlor gazy elektronlar bilen ionlaşdyrylýar we argon ionlary iş böleginiň bombalanmagyny çaltlaşdyrýar.
Şonuň üçin bombalanmagy arassalamak täsiri gowy.Bombany diňe 1 minut arassalamak, “esasy ark bombalamak” diýilýän iş bölegini arassalap biler.Titan ionlarynyň köp bolmagy sebäpli, iş bölegini gaty uzak wagtlap bombalamak we arassalamak üçin kiçijik bir çeşme ulanylsa, iş böleginiň temperaturasy aşa gyzmaga ýykgyn edýär we guralyň gyrasy ýumşak bolup biler.Umuman önümçilikde kiçi ýaý çeşmeleri ýokardan aşak birin-birin açylýar we her kiçi ýaý çeşmesiniň bombany arassalamak wagty 1 minut töweregi.
（1 tit Titan aşaky gatlak
Film bilen substratyň arasyndaky ýapyşygy gowulandyrmak üçin, adatça titanium nitridi örtmezden ozal arassa titanium substraty bilen örtülýär.Wakuum derejesini 5 × 10-2-3 × 10-1Pa sazlaň, iş bölekleriniň naprýa .eniýesini 400-500V çenli sazlaň we impulsyň ikitaraplaýyn elektrik üpjünçiliginiň nobat aýlawyny 40% ~ 50% sazlaň.Sowuk meýdan arçasynyň akymyny döretmek üçin henizem kiçijik ýaý çeşmelerini birin-birin tutaşdyrmak.Iş böleginiň otrisatel naprýa .eniýesiniň peselmegi sebäpli titanium ionlarynyň energiýasy azalýar.Iş bölegine ýetenden soň, tüýkürmek effekti çökdürme täsirinden az bolýar we titanyň nitrit gaty film gatlagy bilen substratyň arasyndaky baglanyşyk güýjüni gowulandyrmak üçin iş böleginde titanyň geçiş gatlagy emele gelýär.Bu amal, iş bölegini ýylatmak prosesidir.Arassa titanyň nyşany zyňylanda, plazmadaky ýagtylyk gök bolýar.
1.Amonirlenen jam gaty film örtügi
Wakuum derejesini 3 × 10 sazlaň-1-5Pa, iş bölekleriniň naprýa .eniýesini 100-200V çenli sazlaň we impulsyň ikitaraplaýyn elektrik üpjünçiliginiň nobat siklini 70% ~ 80% -e sazlaň.Azot girizilenden soň, titanium titanium nitrit gaty plyonkasyny goýmak üçin ýaýyň plazmasy bilen utgaşma reaksiýasydyr.Bu pursatda wakuum kamerasyndaky plazmanyň yşygy alça gyzyl reňkde bolýar.Eger C bolsa2H2, O.2we ş.m. girizilýär, TiCN, TiO2we ş.m. film gatlaklaryny alyp bolýar.
IsBu makala Guangdong Zhenhua, avakuum örtük maşyn öndürijisi
Iş wagty: Iýun-01-2023