Wakuum örtük amaly gurşaw üçin berk talaplar bar.Adaty wakuum prosesi üçin wakuum arassaçylygy üçin esasy talaplar: wakuumda enjamlaryň böleklerinde ýa-da üstünde toplanan hapalanma çeşmesi ýok, wakuum kamerasynyň üstü tekiz we ýumşak dokumalardan, gözeneklerden we burç giňişliginden azatdyr. , şonuň üçin wakuum maşynyndaky kebşirleme wakuma täsir etmez we ýokary vakuum enjamy ýag çalmak üçin ulanmaz.Nebitsiz ultra ýokary vakuum ulgamy, ýag bugynyň iş gurşawynyň arassalygyna, işleýşine ýa-da ýerüsti aýratynlyklaryna täsir etmez.Ultra ýokary wakuum metal ulgamy köplenç gurluş materialy hökmünde 1Cr18Ni9Ti ulanýar.Wakuum örtük maşynynyň arassa we arassa saklanmaly laboratoriýasy ýa-da ussahanasy.
Wakuum örtük prosesinde ýerüsti arassalamak bejergisi örän möhümdir.Esasan, ähli substratlar örtük vakuum kamerasyna ýüklenmezden ozal, iş böleginiň peselmegine, zaýalanmagyna we suwsuzlanmagyna ýetmek üçin deslapky arassalama prosesinden geçmeli.
Örtülen bölekleriň ýerüsti hapalanmagynyň esasy çeşmeleri: tozan, der, ýag, ýalpyldawuk pasta, ýag, çalgy ýagy we beýleki maddalar gaýtadan işlemek, geçirmek, gaplamak we beýleki amallar wagtynda berjaý ediler;Gaz enjamlaryň böleklerine siňdirilýär we sorulýar;Oksid filmi çygly howada örtük maşynynyň bölekleriniň üstünde emele geldi.Bu çeşmelerden hapalanmak üçin olaryň köpüsini zaýalanmak ýa-da himiki arassalamak arkaly aýryp bolýar.
Arassalanan iş böleklerini atmosfera gurşawynda saklamaň.Tozanyň hapalanmagyny azaltmak we iş bölekleriniň saklanmagyny arassalamak üçin köplenç arassalamak üçin şkaflary ýa-da ýapyk gaplary ulanyň.Aýna substrat uglewodorod buglarynyň adsorbsiýasyny azaldyp biljek täze okislenen alýumin gapda saklamaly.Sebäbi täze oksidlenen alýumin gaplary uglewodorodlary has gowy özleşdirer.Suw bugyna duýgur ýa-da gaty durnuksyz ýerler adatça wakuum guradyjy peçde saklanýar.
Wakuum örtük prosesiniň daşky gurşawa esasy talaplary esasan aşakdakylary öz içine alýar: vakuum otagynda ýokary arassalyk, örtük otagynda tozan ýok we ş.m. Käbir ýerlerde howanyň çyglylygy birneme ýokary, şonuň üçin örtülmezden ozal diňe arassalamaly däl; substrat we vakuum kamerasyndaky komponentler, ýöne çörek bişirmek we zaýalamak işini hem etmeli.Mundan başga-da, nebitiň wakuum kamerasyna girmeginiň öňüni almak üçin, ýangyç diffuziýa nasosynyň nebitiň gaýdyp gelmegine we ýagy blokirleme çärelerine hem üns bermeli.
Iş wagty: Fewral-18-2023