HFCVD0606

Kimyoviy bug 'cho'ktirish uskunasining vakuumli qoplama kamerasi sovutishda samarali va bir xil bo'lgan, xavfsiz va barqaror tuzilishga ega bo'lgan mustaqil ikki qatlamli suv sovutish strukturasini qabul qiladi.Uskunalar ikkita eshikli, bir nechta kuzatuv oynalari va bir nechta kengaytirish interfeyslari bilan ishlab chiqilgan bo'lib, u infraqizil haroratni o'lchash, spektral tahlil, video monitoring va termojuft kabi yordamchi tashqi qurilmalarni tashqi ulash uchun qulaydir.Ilg'or dizayn kontseptsiyasi kundalik ta'mirlash va texnik xizmat ko'rsatish, konfiguratsiyani o'zgartirish va jihozni yangilashni oson va sodda qiladi va foydalanish va yangilash xarajatlarini samarali ravishda kamaytiradi.

Uskunaning xususiyatlari:

1.Uskunaning inflyatsiya komponentlari asosan texnologik gaz oqimini aniq nazorat qilishni, turli gazlarni bir xil aralashtirish va xavfsiz izolyatsiya qilishni ta'minlaydigan massa oqim o'lchagich, solenoid klapan va gaz aralashtirish tankini o'z ichiga oladi va gaz tizimining tarkibiy qismlarini ishlatish uchun tanlashi mumkin. suyuq gaz manbai, suyuq uglerod manbalarining keng doirasini shaxsiy tanlashni va sintetik o'tkazuvchan olmos va elektrod suyuq bor manbalaridan xavfsiz foydalanishni osonlashtiradi.
2.Havoni chiqarish moslamasi ovozsiz va samarali aylanadigan qanotli vakuum pompasi va yuqori vakuumli fon muhitini tezda qondira oladigan turbo molekulyar nasos tizimi bilan jihozlangan.Qarshilik o'lchagichi va ionlash o'lchagichli kompozit vakuum o'lchagich vakuumni o'lchash uchun ishlatiladi, shuningdek, turli xil texnologik gazlarning bosimini keng diapazonda o'lchashi mumkin bo'lgan sig'imli plyonkali o'lchagich tizimi.Cho'kma bosimi yuqori aniqlikdagi proportsional nazorat valfi tomonidan to'liq avtomatik boshqariladi.
3.Sovutish suvi komponenti ko'p kanalli suv bosimi, oqim, haroratni o'lchash va dasturiy ta'minotni avtomatik kuzatish bilan jihozlangan.Turli xil sovutish komponentlari bir-biridan mustaqildir, bu esa tez nosozliklarni aniqlash uchun qulaydir.Barcha filiallarda mustaqil valf kalitlari mavjud, bu xavfsiz va samarali.
4. Elektr boshqaruv komponentlari katta o'lchamli inson-mashina interfeysi LCD displeyni qabul qiladi va jarayon formulasini tahrirlash va import qilishni osonlashtirish uchun PLC to'liq avtomatik boshqaruvi bilan hamkorlik qiladi.Grafik egri chiziq turli parametrlarning o'zgarishlari va qiymatlarini vizual ravishda aks ettiradi va muammolarni kuzatish va ma'lumotlarni statistik tahlil qilishni osonlashtirish uchun uskunalar va jarayon parametrlari avtomatik ravishda qayd etiladi va arxivlanadi.
5. Ish qismi tagligi taglik stolini ko'tarish va tushirishni nazorat qilish uchun servo vosita bilan jihozlangan.Grafit yoki qizil mis substrat jadvali tanlanishi mumkin.Harorat termojuft yordamida o'lchanadi.
6.Rack komponentlari mijozlarning maxsus ishlov berish talablarini qondirish uchun mijozlar talablariga muvofiq butunlay yoki alohida ishlab chiqilishi mumkin.
7.Sızdırmazlık plitasining komponentlari chiroyli va oqlangan.Uskunaning turli funktsional modul joylarida muhrlangan plitalar tezda qismlarga ajratilishi yoki mustaqil ravishda ochilishi va yopilishi mumkin, bu esa foydalanish uchun juda qulaydir.

Issiq filamentli CVD uskunasi olmosli materiallarni, shu jumladan yupqa plyonkali qoplama, o'z-o'zidan qo'llab-quvvatlanadigan qalin plyonka, mikrokristalli va nanokristalli olmos, o'tkazuvchan olmos va boshqalarni joylashtirish uchun javob beradi. U asosan sementlangan karbid kesish asboblari, yarim o'tkazgich materiallarini aşınmaya bardoshli himoya qoplamasi uchun ishlatiladi. kremniy va kremniy karbid, qurilmalarning issiqlik tarqaladigan qoplamasi, bor qo'shilgan Supero'tkazuvchilar olmos elektrodi, elektrolitik suvni ozon bilan zararsizlantirish yoki kanalizatsiya tozalash kabi.