① Yaxshi boshqarilishi va plyonka qalinligining takrorlanishi
Kino qalinligini oldindan belgilangan qiymatda nazorat qilish mumkinmi yoki yo'qmi, plyonka qalinligini nazorat qilish deyiladi.Kerakli plyonka qalinligi ko'p marta takrorlanishi mumkin, bu plyonka qalinligi takrorlanishi deb ataladi.Chunki vakuumli püskürtme qoplamasining tushirish oqimi va maqsadli oqimi alohida nazorat qilinishi mumkin.Shuning uchun, purkalgan plyonkaning qalinligi nazorat qilinadi va oldindan belgilangan qalinlikdagi plyonka ishonchli tarzda yotqizilishi mumkin.Bundan tashqari, sputter qoplamasi katta sirtda bir xil qalinlikdagi plyonkani olishi mumkin.
② Film va substrat o'rtasida kuchli yopishish
Bug'langan atomlarning energiyasi bug'langan atomlarning energiyasidan 1-2 marta kattaroqdir.Substratga yotqizilgan yuqori energiyali purkalgan atomlarning energiyaga aylanishi bug'langan atomlarga qaraganda ancha yuqori bo'lib, bu yuqori issiqlik hosil qiladi va püskürtülmüş atomlar va substrat o'rtasidagi yopishqoqlikni kuchaytiradi.Bundan tashqari, ba'zi yuqori energiyali purkalgan atomlar turli darajadagi in'ektsiya hosil qiladi va substratda psevdodiffuziya qatlamini hosil qiladi.Bunga qo'shimcha ravishda, plyonka hosil qilish jarayonida substrat doimo tozalanadi va plazma hududida faollashadi, bu zaif yopishqoqlik bilan püskürtme atomlarini olib tashlaydi va substrat yuzasini tozalaydi va faollashtiradi.Shuning uchun, purkalgan plyonka substratga kuchli yopishqoqlikka ega.
③ Maqsaddan farqli yangi material plyonkasi tayyorlanishi mumkin
Agar purkash paytida reaktiv gaz nishon bilan reaksiyaga kirishishi uchun kiritilsa, nishondan butunlay farq qiladigan yangi material plyonkasini olish mumkin.Misol uchun, kremniy püskürtme maqsadi sifatida ishlatiladi va kislorod va argon birga vakuum kamerasiga qo'yiladi.Tozalashdan keyin SiOz izolyatsion plyonkani olish mumkin.Titanni püskürtme maqsadi sifatida ishlatib, azot va argon vakuum kamerasiga birga qo'yiladi va fazali TiN oltinga o'xshash plyonkani püskürtmeden keyin olish mumkin.
④ Filmning yuqori tozaligi va yaxshi sifati
Cho'kuvchi plyonka tayyorlash moslamasida tigel komponenti yo'qligi sababli, tigelli isitgich materialining tarkibiy qismlari püskürtme plyonkasi qatlamida aralashmaydi.Yopishqoq qoplamaning kamchiliklari shundaki, plyonka hosil bo'lish tezligi bug'lanish qoplamasiga qaraganda sekinroq, substrat harorati yuqori, nopok gazdan ta'sirlanishi oson va qurilma tuzilishi yanada murakkab.
Ushbu maqola ishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari
Xabar vaqti: 09-09-2023-yil