Barchamizga ma'lumki, yarimo'tkazgichning ta'rifi shundaki, u quruq o'tkazgichlar va izolyatorlar o'rtasida o'tkazuvchanlikka ega, metall va izolyator o'rtasidagi qarshilik, odatda xona haroratida 1mŌ-sm ~ 1GŌ-sm oralig'ida bo'ladi.So'nggi yillarda, yirik yarimo'tkazgich kompaniyalarida vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi, ayniqsa, magnitoelektrik konversiya qurilmalariga, yorug'lik chiqaradigan qurilmalarga va boshqa rivojlanish ishlariga ba'zi bir keng ko'lamli integratsiyalashgan tizim sxemalarini ishlab chiqish texnologiyasini tadqiq qilish usullarida uning holati tobora yuqori bo'lib borayotgani aniq.Vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi muhim rol o'ynaydi.
Yarimo'tkazgichlar o'zlarining o'ziga xos xususiyatlari, harorati va nopoklik konsentratsiyasi bilan tavsiflanadi.Vakuumli yarimo'tkazgichli qoplama materiallari bir-biridan asosan tarkibiy birikmalar bilan ajralib turadi.Taxminan barchasi bor, uglerod, kremniy, germaniy, mishyak, surma, tellur, yod va boshqalarga va ba'zilari nisbatan kam GaP, GaAs, lnSb va boshqalarga asoslangan. Shuningdek, FeO, Fe₂O₃ kabi ba'zi oksidli yarimo'tkazgichlar mavjud. MnO, Cr₂O₃, Cu₂O va boshqalar.
Vakuumli bug'lanish, püskürtme qoplamasi, ion qoplamasi va boshqa uskunalar vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasini amalga oshirishi mumkin.Ushbu qoplama uskunalari o'zlarining ishlash printsipi bo'yicha bir-biridan farq qiladi, ammo ularning barchasi substratga yotqizilgan yarimo'tkazgichli material qoplama materialini yaratadi va substratning materiali sifatida hech qanday talab yo'q, u yarimo'tkazgich bo'lishi mumkin yoki bo'lmasligi mumkin.Bundan tashqari, turli xil elektr va optik xususiyatlarga ega bo'lgan qoplamalar bir qatorda yarimo'tkazgich substratining yuzasida nopoklikning tarqalishi va ion implantatsiyasi bilan tayyorlanishi mumkin.Olingan yupqa qatlam umuman yarimo'tkazgich qoplamasi sifatida ham qayta ishlanishi mumkin.
Vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi faol yoki passiv qurilmalar uchun bo'ladimi, elektronikada ajralmas mavjudlikdir.Vakuumli yarimo'tkazgichlarni qoplash texnologiyasining uzluksiz rivojlanishi bilan plyonka ishlashini aniq nazorat qilish mumkin bo'ldi.
So'nggi yillarda amorf qoplama va polikristal qoplama foto o'tkazuvchan qurilmalar, qoplangan dala effektli quvurlar va yuqori samarali quyosh xujayralari ishlab chiqarishda jadal sur'atlarda erishdi.Bundan tashqari, vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi va sensorlarning yupqa plyonkasi rivojlanishi tufayli, bu ham materialni tanlash qiyinligini sezilarli darajada kamaytiradi va ishlab chiqarish jarayonini asta-sekin soddalashtiradi.Vakuumli yarimo'tkazgichli qoplama uskunalari yarimo'tkazgichlarni qo'llash uchun zaruriy mavjudlik bo'ldi.Uskunalar kamera qurilmalari, quyosh batareyalari, qoplangan tranzistorlar, maydon emissiyasi, katod-yorug'lik, elektron emissiya, nozik plyonkali sezgir elementlar va boshqalarni yarim o'tkazgich bilan qoplash uchun keng qo'llaniladi.
Magnitronli sputtering qoplama liniyasi to'liq avtomatik boshqaruv tizimi, qulay va intuitiv sensorli ekranli inson-mashina interfeysi bilan yaratilgan.Chiziq butun ishlab chiqarish liniyasi komponentlari, jarayon parametrlarini sozlash, operatsiyani himoya qilish va signalizatsiya funktsiyalari uchun ish holatini to'liq kuzatishga erishish uchun to'liq funktsiya menyusi bilan yaratilgan.Butun elektr boshqaruv tizimi xavfsiz, ishonchli va barqaror.Yuqori va pastki ikki tomonlama magnetronli püskürtme nishoni yoki bir tomonlama qoplama tizimi bilan jihozlangan.
Uskunalar asosan seramika elektron platalar, chip yuqori voltli kondansatörler va boshqa substrat qoplamalariga qo'llaniladi, asosiy dastur sohalari elektron platalardir.
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 07-noyabr