Katodik yoy manbasini ion bilan qoplash jarayoni asosan boshqa qoplama texnologiyalari bilan bir xil bo'lib, ish qismlarini o'rnatish va changni yutish kabi ba'zi operatsiyalar endi takrorlanmaydi.
1.Ish qismlarini bombardimon bilan tozalash
Qoplashdan oldin argon gazi 2×10-2Pa vakuum bilan qoplama kamerasiga kiritiladi.
20% ish aylanishi va 800-1000V ish qismining egilishi bilan impulsli quvvat manbaini yoqing.
Ark quvvati yoqilganda, sovuq maydon yoyi yorug'lik razryadi hosil bo'ladi, bu kamon manbasidan katta miqdordagi elektron oqimi va titan ion oqimini chiqaradi va yuqori zichlikdagi plazma hosil qiladi.Titan ioni ishlov beriladigan qismga qo'llaniladigan salbiy yuqori bosim ostida ishlov beriladigan qismga in'ektsiyani tezlashtiradi, ishlov beriladigan qismning yuzasida adsorbsiyalangan qoldiq gaz va ifloslantiruvchi moddalarni bombardimon qilish va püskürtmek, ishlov beriladigan qismning sirtini tozalash va tozalash;Shu bilan birga, qoplama kamerasidagi xlor gazi elektronlar tomonidan ionlanadi va argon ionlari ishlov beriladigan qismning sirtini bombardimon qilishni tezlashtiradi.
Shuning uchun, bombardimon tozalash effekti yaxshi.Taxminan 1 daqiqalik bombardimon tozalash ish qismini tozalashi mumkin, bu "asosiy yoy bombardimoni" deb ataladi.Titan ionlarining yuqori massasi tufayli, agar ishlov beriladigan qismni uzoq vaqt davomida bombardimon qilish va tozalash uchun kichik yoy manbai ishlatilsa, ishlov beriladigan qismning harorati haddan tashqari qizib ketishga moyil bo'lib, asbob qirrasi yumshoq bo'lishi mumkin.Umumiy ishlab chiqarishda kichik boshq manbalari yuqoridan pastgacha birma-bir yoqiladi va har bir kichik boshq manbai taxminan 1 daqiqa bombardimon tozalash vaqtiga ega.
（1） Titaniumning pastki qatlamini qoplash
Film va substrat o'rtasidagi yopishqoqlikni yaxshilash uchun odatda titanium nitridini qoplashdan oldin sof titanli substrat qatlami qoplanadi.Vakuum darajasini 5 × 10-2-3 × 10-1Pa ga sozlang, ishlov beriladigan qismning kuchlanish kuchlanishini 400-500V ga sozlang va impulsli quvvat manbai ish aylanishini 40% ~ 50% ga sozlang.Hali ham kichik yoy manbalarini birma-bir yondirib, sovuq maydon yoyi oqimini hosil qiladi.Ish qismining salbiy egilish kuchlanishining pasayishi tufayli titanium ionlarining energiyasi kamayadi.Ish qismiga etib borgandan so'ng, püskürtme ta'siri cho'kma ta'siridan kamroq bo'ladi va titanium nitridi qattiq plyonka qatlami va substrat o'rtasidagi bog'lanish kuchini yaxshilash uchun ish qismida titanium o'tish qatlami hosil bo'ladi.Bu jarayon, shuningdek, ish qismini isitish jarayonidir.Sof titan nishoni zaryadsizlanganda, plazmadagi yorug'lik moviy ko'k rangda bo'ladi.
1.Ammonlangan piyola qattiq kino qoplamasi
Vakuum darajasini 3×10 ga sozlang-1-5Pa, ishlov beriladigan qismning kuchlanishini 100-200V ga sozlang va impulsli quvvat manbai ish aylanishini 70% ~ 80% ga sozlang.Azot kiritilgandan so'ng, titan titanium nitridi qattiq plyonkani to'plash uchun yoy zaryadsizlanishi plazmasi bilan kombinatsiyalangan reaktsiyadir.Bu vaqtda vakuum kamerasidagi plazmaning yorug'ligi olcha qizil rangga ega.Agar C2H2, O2va boshqalar kiritiladi, TiCN, TiO2, va hokazo kino qatlamlarini olish mumkin.
-Ushbu maqola Guangdong Zhenhua tomonidan chop etilgan, avakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi
Xat vaqti: 2023 yil 01-iyun