Vakuumli plazma tozalash uskunasi RF ionlarini tozalash tizimi, to'liq avtomatik boshqaruv, qulay foydalanish va texnik xizmat ko'rsatish bilan jihozlangan integral tuzilmani qabul qiladi.
RF yuqori chastotali generatori yuqori zichlikdagi plazma hosil qilishi, ishlov beriladigan qismning sirtini faollashtirishi, silliqlashi va kullashi, mahsulot yuzasidagi chang va yog'larni samarali ravishda olib tashlashi, sirt stressini bo'shatishi va ishlov beriladigan qism yuzasida turli xil modifikatsiyalarni olishi mumkin.
U kauchuk, shisha, keramika, metall va boshqa mahsulotlarga qo'llaniladi va mikroelektronika, LCD, LED, LCM, PCB elektron platasi, yarimo'tkazgichli qadoqlash, tibbiy asboblar, hayot fanlari tajribalari va boshqa sohalarda qo'llaniladi.