Die toerusting neem vertikale voordeurstruktuur en groepuitleg aan.Dit kan toegerus word met verdampingsbronne vir metale en verskeie organiese materiale, en kan silikonwafels van verskillende spesifikasies verdamp.Toegerus met 'n presisie-belyningstelsel, die deklaag is stabiel en die deklaag het goeie herhaalbaarheid.
GX600 coating toerusting kan akkuraat, eweredig en beheerbaar verdamp organiese lig-emitterende materiale of metaal materiaal op die substraat.Dit het die voordele van eenvoudige filmvorming, hoë suiwerheid en hoë kompaktheid.Die voloutomatiese filmdikte intydse moniteringstelsel kan die herhaalbaarheid en stabiliteit van die proses verseker.Dit is toegerus met selfsmeltfunksie om die afhanklikheid van die operateur se vaardighede te verminder.
Die toerusting kan toegepas word op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti en ander metaal materiale, en kan bedek word met metaal film, diëlektriese laag film, IMD film, ens dit word hoofsaaklik gebruik in die halfgeleier industrie, soos krag toestelle, halfgeleier agterverpakking substraat coating, ens.
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |