HFCVD0606

Die vakuumbedekkingskamer van die chemiese dampneerslagtoerusting neem 'n onafhanklike dubbellaag-waterverkoelingstruktuur aan, wat doeltreffend en eenvormig in verkoeling is, en 'n veilige en stabiele struktuur het.Die toerusting is ontwerp met dubbele deure, veelvuldige waarnemingsvensters en veelvuldige uitbreidingskoppelvlakke, wat gerieflik is vir eksterne verbinding van hulprandapparatuur soos infrarooi temperatuurmeting, spektrale analise, videomonitering en termokoppel.Die gevorderde ontwerpkonsep maak die daaglikse opknapping en instandhouding, konfigurasieverandering en opgradering van die toerusting maklik en eenvoudig, en verminder die gebruik en opgraderingskoste effektief.

Toerusting kenmerke:

1.Die opblaaskomponente van die toerusting sluit hoofsaaklik massavloeimeter, solenoïedklep en gasmengtenk in, wat die akkurate beheer van prosesgasvloei, uniforme vermenging en veilige isolasie van verskillende gasse verseker, en gasstelselkomponente kan kies vir die gebruik van vloeibare gasbron, fasiliteer die persoonlike keuse van 'n wye reeks vloeibare koolstofbronne, en die veilige gebruik van sintetiese geleidende diamant- en elektrodevloeibare boorbronne.
2.Die lugonttrekkingsamestelling is toegerus met 'n stil en doeltreffende roterende vacuumpomp en 'n turbo-molekulêre pompstelsel wat vinnig aan die hoë vakuum agtergrond omgewing kan voldoen.Die saamgestelde vakuummeter met weerstandsmeter en ionisasiemeter word vir vakuummeting gebruik, asook die kapasitiewe filmmeterstelsel wat die druk van verskillende prosesgasse in 'n wye reeks kan meet.Die neerslagdruk word ten volle outomaties beheer deur hoë-presisie proporsionele beheerklep.
3.Die koelwaterkomponent is toegerus met multi-kanaal waterdruk, vloei, temperatuurmeting en sagteware outomatiese monitering.Verskillende verkoelingskomponente is onafhanklik van mekaar, wat gerieflik is vir vinnige foutdiagnose.Alle takke het onafhanklike klepskakelaars, wat veilig en doeltreffend is.
4.Die elektriese beheerkomponente neem groot-grootte mens-masjien-koppelvlak LCD-skerm aan en werk saam met PLC vol outomatiese beheer om die redigering en invoer van prosesformule te vergemaklik.Die grafiese kurwe vertoon die veranderinge en waardes van verskeie parameters visueel, en die toerusting en prosesparameters word outomaties aangeteken en geargiveer om probleemopsporing en data statistiese analise te vergemaklik.
5.Die werkstukrak is toegerus met 'n servomotor om die op- en aflaai van die substraattafel te beheer.Die grafiet- of rooikopersubstraattafel kan gekies word.Die temperatuur word deur 'n termokoppel gemeet.
6.Die rekkomponente kan as 'n geheel of afsonderlik volgens klantvereistes ontwerp word om aan die spesiale hanteringsvereistes van kliënte te voldoen.
7.Die seëlplaatkomponente is pragtig en elegant.Die seëlplate in verskillende funksionele module-areas van die toerusting kan vinnig uitmekaar gehaal of onafhanklik oopgemaak en toegemaak word, wat baie gerieflik is om te gebruik.

Warm filament CVD-toerusting is geskik vir die deponering van diamantmateriaal, insluitend dunfilmbedekking, selfondersteunende dikfilm, mikrokristallyne en nanokristallyne diamant, geleidende diamant, ens. Dit word hoofsaaklik gebruik vir slytvaste beskermende deklaag van gesementeerde karbiedsnygereedskap, halfgeleiermateriale soos silikon en silikonkarbied, hitte-afvoerbedekking van toestelle, boor-gedoteerde geleidende diamantelektrode, osoonontsmetting van elektrolitiese water of rioolbehandeling.