1) Silindriese teikens het 'n hoër benuttingskoers as planêre teikens.In die deklaagproses, of dit 'n roterende magnetiese tipe of 'n roterende buis tipe silindriese sputterteiken is, gaan alle dele van die oppervlak van die teikenbuis voortdurend deur die sputterarea wat voor die permanente magneet gegenereer word om katodesputtering te ontvang, en die teiken kan eenvormig gesputter geëts word, en die teikenbenuttingskoers is hoog.Die gebruikskoers van teikenmateriaal is ongeveer 80% ~ 90%.
2) Silindriese teikens sal nie maklik wees om "teikenvergiftiging" te produseer nie.Tydens die bedekkingsproses word die oppervlak van die teikenbuis altyd deur ione gesputter en geëts, en dit is nie maklik om dik oksiede en ander isolerende films op die oppervlak te versamel nie, en dit is nie maklik om "teikenvergiftiging" te produseer nie.
3) Die struktuur van die silindriese sputterteiken van die roterende teikenbuistipe is eenvoudig en maklik om te installeer.
4) Die silindriese teikenbuismateriaal het verskillende tipes.vlakke teiken met metaal teiken direkte waterverkoeling, en sommige kan nie verwerk word nie en silindriese teikens gevorm word, soos In2-SnO2 teiken, ens. met poeiermateriaal vir warm isostatiese druk om plaatagtige teikens te verkry, omdat die grootte nie gemaak kan word nie. groot, en bros, so dit is nodig om soldeermetode en koper agterplaat te gebruik om te integreer en dan op die teikenbasis te installeer.Benewens metaalpype kan kolomteikens ook op die oppervlak van vlekvrye staalpype gespuit word met verskeie materiale wat bedek moet word, soos Si, Cr, ens.
Tans neem die proporsie silindriese teikens vir coating in industriële produksie toe.Silindriese teikens word nie net vir die vertikale deklaagmasjien gebruik nie, maar word ook in die rol-tot-rol-bedekkingsmasjien gebruik.In onlangse jare is die planêre tweelingteikens geleidelik vervang deur die Silindriese tweelingteikens.
——Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua Technology, avervaardiger van optiese deklaagmasjiene.
Postyd: Mei-11-2023