1. Kenmerke van booglig-elektronvloei
Die digtheid van elektronvloei, ioonvloei en hoë-energie neutrale atome in boogplasma wat deur boogontlading gegenereer word, is baie hoër as dié van gloei ontlading.Daar is meer gasione en metaalione geïoniseerde, opgewonde hoë-energie atome, en verskeie aktiewe groepe in die deklaagruimte, wat 'n belangrike rol speel in die verhitting, skoonmaak en coating stadiums van die coating proses.Die aksievorm van boogelektronvloei is anders as dié van ioonstraal, wat nie almal in 'n "straal" konvergeer nie, maar meestal in 'n divergerende toestand, dus word dit boogelektronvloei genoem.Omdat boogelektrone na die anode vloei, word die boogelektronvloei gerig waarheen die positiewe elektrode van die boogkragtoevoer ook al gekoppel is, en die anode kan 'n werkstuk, hulpanode, smeltkroes, ens.
2. Metode om boogelektronvloei op te wek
(1) Die gasbron genereer boogelektronvloei: die boogstroom van holkatodeboogontlading en warmdraadboogontlading kan ongeveer 200A bereik, en die boogspanning is 50-70V.
(2) Vaste bron genereer boogelektronvloei: katodeboogbron, insluitend kleinboogbron, silindriese boogbron, reghoekige vlak grootboogbron, ens. Die boogstroom van elke katodeboogbronontlading is 80-200A, en die boogspanning is 18-25V.
Die hoëdigtheid en lae-energie boogelektronvloei in twee tipes boogontladingsplasma's kan intense botsingionisasie met gas- en metaalfilmatome genereer, wat meer gasione, metaalione en verskeie hoë-energie aktiewe atome en groepe verkry, en sodoende verbeter die algehele aktiwiteit van die filmlaag-ione.
– Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua, avacuum coating masjien vervaardiger
Postyd: Mei-31-2023