1. Die werkstukvoorspanning is laag
As gevolg van die byvoeging van 'n toestel om die ionisasietempo te verhoog, word die ontladingsstroomdigtheid verhoog, en die voorspanning word verminder tot 0,5 ~ 1kV.
Die terugsputting wat veroorsaak word deur oormatige bombardering van hoë-energie-ione en die skade-effek op die werkstukoppervlak word verminder.
2. Verhoogde plasmadigtheid
Verskeie maatreëls om botsingionisasie te bevorder is bygevoeg, en die metaalionisasiekoers het van 3% tot meer as 15% toegeneem.Die digtheid van kinione en hoë-energie neutrale atome, stikstofione, hoë-energie aktiewe atome en aktiewe groepe in die bedekkingskamer word verhoog, wat bevorderlik is vir die reaksie om verbindings te vorm.Die bogenoemde verskillende verbeterde gloei-ontlading-ioonbedekkingstegnologieë kon TN-harde filmlae verkry deur reaksieneerlegging by hoër plasmadigthede, maar omdat hulle aan die gloei-ontladingstipe behoort, is die ontladingsstroomdigtheid nie hoog genoeg nie (steeds mA/cm2 vlak ), en die algehele plasmadigtheid is nie hoog genoeg nie, en die proses van reaksie afsetting saamgestelde coating is moeilik.
3. Die deklaagreeks van die puntverdampingsbron is klein
Verskeie verbeterde ioonbedekkingstegnologieë gebruik elektronstraalverdampingsbronne, en gantu as 'n puntverdampingsbron, wat beperk is tot 'n sekere interval bokant gantu vir reaksieneerlegging, dus is die produktiwiteit laag, die proses is moeilik, en dit is moeilik om te industrialiseer.
4. Elektroniese geweer hoëdruk werking
Die elektrongeweerspanning is 6~30kV, en die werkstukvoorspanning is 0,5~3kV, wat aan hoëspanningswerking behoort en sekere veiligheidsgevare inhou.
——Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua Technology, avervaardiger van optiese deklaagmasjiene.
Postyd: Mei-12-2023