1. Termiese CVD-tegnologie
Harde bedekkings is meestal metaalkeramiekbedekkings (TiN, ens.), wat gevorm word deur die reaksie van metaal in die bedekking en reaktiewe vergassing.Aanvanklik is die termiese CVD-tegnologie gebruik om die aktiveringsenergie van kombinasiereaksie deur termiese energie by 'n hoë temperatuur van 1000 ℃ te verskaf.Hierdie temperatuur is slegs geskik vir die afsetting van TiN en ander harde bedekkings op gesementeerde karbiedgereedskap.Tot dusver is dit steeds 'n belangrike tegnologie om TiN-Al20 saamgestelde bedekkings op gesementeerde karbiedwerktuigkoppe te deponeer.
2. Hol katode-ioonbedekking en warmdraadboog-ioonbedekking
In die 1980's is hol katode-ioonbedekking en warmdraadboogioonbedekking gebruik om bedekte snygereedskap neer te sit.Beide hierdie ioonbedekkingstegnologieë is boogontlading-ioonbedekkingstegnologieë, met 'n metaalionisasietempo van tot 20% ~ 40%.
3. Katodeboogioonbedekking
Die opkoms van katodiese boogioonbedekking het gelei tot die ontwikkeling van die tegnologie om harde bedekkings op vorms af te lê.Die ionisasietempo van katodiese boogioonbedekking is 60%~90%, wat toelaat dat 'n groot aantal metaalione en reaksiegasione die oppervlak van die werkstuk bereik en steeds hoë aktiwiteit handhaaf, wat lei tot reaksieneerlegging en vorming van harde bedekkings soos bv. TiN.Tans word katodiese boogioonbedekkingstegnologie hoofsaaklik gebruik om harde bedekkings op vorms te deponeer.
Die katodeboogbron is 'n vastestof-verdampingsbron sonder 'n vaste gesmelte poel, en die boogbronposisie kan arbitrêr geplaas word, wat die ruimtebenuttingskoers van die deklaagkamer verbeter en die oondlaaikapasiteit verhoog.Die vorms van katodeboogbronne sluit in klein sirkelvormige katodeboogbronne, kolomvormige boogbronne en reghoekige plat grootboogbronne.Verskillende komponente van kleinboogbronne, kolomboogbronne en grootboogbronne kan afsonderlik gerangskik word om meerlaagfilms en nano-meerlaagfilms neer te lê.Intussen, as gevolg van die hoë metaalionisasietempo van katodiese boogioonbedekking, kan metaalione meer reaksiegasse absorbeer, wat 'n wye prosesreeks en eenvoudige werking tot gevolg het om uitstekende harde bedekkings te verkry.Daar is egter growwe druppels in die mikrostruktuur van die deklaag wat verkry word deur katodiese boogioonbedekking.In onlangse jare het baie nuwe tegnologieë na vore gekom om die struktuur van die filmlaag te verfyn, wat die kwaliteit van die boogioonbedekkingsfilm verbeter het.
——Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua Technology, avervaardiger van optiese deklaagmasjiene.
Postyd: 28-Apr-2023