Die proses van hol katode-ioonbedekking is soos volg:
1、Sit Kin-stawe in die ineenstorting.
2、 Monteer die werkstuk.
3、Na ontruiming na 5×10-3Pa, word argongas vanaf die silwerbuis in die deklaagkamer ingebring, en die vakuumvlak is ongeveer 100Pa.
4、 Skakel die vooroordeelkrag aan.
5、Nadat die boogkrag aangeskakel is om die holkatode-ontlading aan die brand te steek. Die gloei-ontlading word in die knoppie-buis gegenereer, Ontladingsspanning is 800~1000V, Die boogverhogende stroom is 30~50A.As gevolg van die holkatode-effek van gloei ontlading, Hoë gloei-ontladingsstroomdigtheid, Die hoë digtheid van rat ione in die silwer buis bombardeer die wand van die uitsigbuis, Laat die buiswand vinnig opwarm tot die vrystelling van elektronvloei, die ontladingsmodus vanaf die gloei ontlading skielike verandering na boogontlading, Spanning is 40~70V, Stroom is 80~300A. Silwer buis temperatuur bereik bo 2300K, Gloeilamp, Stel 'n hoë digtheid stroom van boogelektrone uit die buis, en skiet na die anode.
6、Aanpassing van vakuumvlak. Die vakuumvlak vir gloeiontlading vanaf holkatodegeweer is ongeveer 100 Pa, en die vakuumgraad van bedekking is 8×10-1~2Pa.Daarom, na ontsteking van die boogontlading, verminder die inkomende argon gas so gou as moontlik, Pas die vakuumvlak aan tot 'n reeks wat geskik is vir coating.
7、Titanium-geplateerde basislaag. Elektronvloei na die anodies ineengestorte Kin-metaalblok, Omskakeling van kinetiese energie na termiese energie, Verdamping van Kinmetaal deur verhitting, Dampatome bereik die werkstuk om 'n titaanfilm te vorm.
8、Afsetting van TiN.Stikstofgas word aan die deklaagkamer verskaf,Stikstofgas en verdampte atome word in stikstof- en titaanione geïoniseer.Bo die smeltkroes,Hoër waarskynlikheid van onelastiese botsings van titaandampatome met digte strome lae-energie-elektrone, Die metaaldissosiasietempo is so hoog as 20%~40%.,Titaniumione sal meer geneig wees om chemies met die reaksiegas stikstof te reageer,Afsetting om 'n nitriedmantelfilmlaag te verkry. Die holkatodegeweer is albei 'n verdampingsbron, 'n Ander bron van ionisasie.Tydens coating,Die stroom van die elektromagnetiese spoel om die smeltkroes moet ook aangepas word,Fokuseer die elektronstraal na die middel van die ineenstorting,Daarom word die drywingsdigtheid van elektronvloei verhoog.
9、Power Off.Nadat die filmdikte die voorafbepaalde filmdikte bereik, skakel die boogkragtoevoer af、Skakelkragtoevoer en lugtoevoer.
Postyd: Jul-08-2023