Die proses van katodiese boogbron-ioonbedekking is basies dieselfde as ander bedekkingstegnologieë, en sommige bewerkings soos die installering van werkstukke en stofsuig word nie meer herhaal nie.
1.Bombardeer skoonmaak van werkstukke
Voordat dit bedek word, word argongas in die deklaagkamer ingebring met 'n vakuum van 2×10-2Pa.
Skakel die polsvoorspanningkragtoevoer aan, met 'n dienssiklus van 20% en 'n werkstukvoorspanning van 800-1000V.
Wanneer die boogkrag aangeskakel word, word 'n koueveld-boogligontlading gegenereer, wat 'n groot hoeveelheid elektronstroom en titaniumioonstroom uit die boogbron uitstraal, wat 'n hoëdigtheidplasma vorm.Die titaniumioon versnel sy inspuiting in die werkstuk onder die negatiewe hoë voorspanningsdruk wat op die werkstuk toegepas word, bombardeer en sputter die oorblywende gas en besoedelingstowwe wat op die oppervlak van die werkstuk geadsorbeer word, en maak die oppervlak van die werkstuk skoon en suiwer;Terselfdertyd word die chloorgas in die deklaagkamer deur elektrone geïoniseer, en argonione versnel die bombardement van die werkstukoppervlak.
Daarom is die bombardement skoonmaak effek goed.Slegs ongeveer 1 minuut se bombardement skoonmaak kan die werkstuk skoonmaak, wat "hoofboogbombardement" genoem word.As gevolg van die hoë massa titaniumione, as 'n klein boogbron gebruik word om die werkstuk te lank te bombardeer en skoon te maak, is die temperatuur van die werkstuk geneig tot oorverhitting, en die gereedskaprand kan sag word.In algemene produksie word klein boogbronne een vir een van bo na onder aangeskakel, en elke klein boogbron het 'n bombardementskoonmaaktyd van ongeveer 1 minuut.
（1） Bedek titanium onderste laag
Om die adhesie tussen die film en substraat te verbeter, word 'n laag suiwer titanium substraat gewoonlik bedek voordat titaniumnitried bedek word.Verstel die vakuumvlak na 5×10-2-3×10-1Pa, pas die werkstukvoorspanning aan na 400-500V, en pas die dienssiklus van die polsvoorspanningkragtoevoer aan na 40%~50%.Ontsteek steeds klein boogbronne een vir een om koue veldboogontlading te genereer.As gevolg van die afname in die negatiewe voorspanning van die werkstuk, neem die energie van titaniumione af.Nadat die werkstuk bereik is, is die sputter-effek minder as die afsettingseffek, en 'n titaanoorgangslaag word op die werkstuk gevorm om die bindingskrag tussen die titaniumnitried-harde filmlaag en die substraat te verbeter.Hierdie proses is ook die proses om die werkstuk te verhit.Wanneer die suiwer titanium teiken ontslaan word, is die lig in die plasma blou blou.
1.Ammoniated bak harde film coating
Verstel die vakuumgraad na 3×10-1-5Pa, pas die werkstukvoorspanning aan na 100-200V, en pas die dienssiklus van die polsvoorspanningkragtoevoer aan na 70% ~ 80%.Nadat stikstof ingebring is, is titaan 'n kombinasiereaksie met die boogontladingsplasma om titaniumnitried harde film neer te sit.Op hierdie punt is die lig van die plasma in die vakuumkamer kersierooi.As C2H2, O2, ens. bekendgestel word, TiCN, TiO2, ens. filmlae kan verkry word.
– Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua, avacuum coating masjien vervaardiger
Postyd: Jun-01-2023