Dievakuumbedekkingstoerustingis saamgestel uit baie presiese dele, wat deur baie prosesse gemaak word, soos sweis, slyp, draai, skaaf, boor, frees en so meer.As gevolg van hierdie werke sal die oppervlak van toerustingonderdele onvermydelik besmet wees met sommige besoedelingstowwe soos vet, olievuil, metaalskyfies, sweisvloeimiddel, poleerpasta, sweetmerke ensovoorts.Hierdie besoedelingstowwe is maklik om onder vakuumtoestande te vervlugtig, wat dus die uiteindelike vakuum van die toerusting beïnvloed.
Daarbenewens absorbeer hierdie vakuumbesoedelingstowwe van meganiese verwerking 'n groot hoeveelheid gas in die atmosferiese drukomgewing, en in die vakuumtoestand sal hierdie voorheen geadsorbeerde gasse ook weer vrygestel word, wat 'n belangrike faktor word wat die limietvakuum beperk.Om hierdie rede moet die besoedelingstowwe verwyder word voordat die onderdele van die vakuumbedekkingsmasjien saamgestel word.
Tydens die gebruik van vakuumtoerusting sal die komponente daarvan ook besoedel word.Die besoedeling van hierdie bron word egter hoofsaaklik deur die gebruikstoestande en vakuumpomp veroorsaak.
1. Die verdamping van die filament van die vakuummeter onder hoë temperatuurtoestande sal lei tot die vorming van 'n film op die keramiekisolator, wat sy isolasiesterkte tot 'n sekere mate sal beskadig, en ook 'n sekere impak op die akkuraatheid van sy meting;
2. As gevolg van hoë temperatuur verdamping sal 'n metaalfilm op die oppervlak naby die filament van die elektrongeweer in vakuum gevorm word;
3. As gevolg van sputtering van die werkstuk, sal die binnewand van ioonstraal-etstoerusting deur spatsels besoedel word;
4. Die binnewand van die vakuumverdampingsbedekkingstoerusting sal deur sy verdampingsteikenmateriaal gekontamineer word;
5. Vakuumdroogstelsel word dikwels gebruik, en die stelsel sal deur die verdampte stowwe gekontamineer word;
6. Die diffusiepompolie en meganiese pompolie in die vakuumbedekkingstoerusting is ook 'n groot bron van besoedeling.Nadat die deklaagmasjien lank gewerk het, kan 'n oliefilm in die toerusting vorm.
Om op te som, die vakuum sanitasie van toerusting behels vakuum toerusting, vakuum stelsel, vakuum proses produksie en ander aspekte en skakels, sowel as die vereistes van die vakuum coating toerusting self en spesiale vakuum proses op die gebruik voorwaardes.Daarom is vakuumbesoedeling 'n probleem wat aandag verdien, want hierdie besoedeling sal die werkverrigting van die toerusting beïnvloed, en aandag moet gegee word aan gereelde of enige tyd skoonmaak.
Postyd: 21 Februarie 2023