Saamgestelde coating toerusting van magnetron sputtering en katodiese multi-boog ioon coating kan afsonderlik en gelyktydig werk;kan suiwer metaalfilm, metaal saamgestelde film of saamgestelde film gedeponeer en voorberei word;kan 'n enkele laag film en 'n multi-laag saamgestelde film wees.
Sy voordele soos volg:
Dit kombineer nie net die voordele van verskeie ioonbedekkings nie en neem die voorbereiding en afsetting van dunfilm vir verskeie toepassingsvelde in ag, maar laat ook die afsetting en voorbereiding van multi-laag monolitiese films of meerlaag saamgestelde films in dieselfde vakuum toe. coating kamer op een slag.
Die toepassings van gedeponeerde filmlae word wyd gebruik, sy tegnologie is in 'n verskeidenheid vorme, die tipiese soos volg:
(1) Die verbinding van nie-ewewig magnetron sputtering en katodiese ioonplateringstegnologie.
Sy toestel word soos volg getoon.Dit is 'n saamgestelde deklaagtoerusting van kolomvormige magnetron-teiken en planêre katodiese boogioon-bedekking, wat geskik is vir beide gereedskapbedekking van saamgestelde film en dekoratiewe filmbedekking.Vir gereedskapbedekking word die katodiese boogioonbedekking eers vir die basislaagbedekking gebruik, en dan word die kolommagnetronteiken gebruik vir die afsetting van nitried en ander filmlae om 'n hoë-presisie verwerkingsgereedskapoppervlakfilm te verkry.
Vir dekoratiewe deklaag kan TiN en ZrN dekoratiewe films eers deur katodiese boogbedekking gedeponeer word, en dan met metaal gedoteer word met behulp van magnetronteikens, en die doping effek is baie goed.
(2) Die verbinding van tweevlakmagnetron en kolomkatodeboogioonbedekkingstegnieke.Die toestel word soos volg getoon.Dit word gebruik die gevorderde tweeling teiken tegnologie, wanneer twee langs mekaar tweeling teikens gekoppel aan die medium frekwensie kragbron, dit nie net oorkom die teiken vergiftiging van DC sputtering, vuur en ander nadele;en kan Al203, SiO2 oksied kwaliteit film deponeer, sodat die oksidasie weerstand van die bedekte dele toegeneem en verbeter het.Kolomvormige multi-boog teiken geïnstalleer in die middel van die vakuum kamer, die teiken materiaal kan gebruik word Ti en Zr, nie net om die voordele van 'n hoë multi-boog dissosiasie tempo, afsetting tempo te handhaaf, maar kan ook effektief verminder "druppels" in die proses van 'n klein vlak multi-boog teiken neerlegging, kan deponeer en voor te berei 'n lae porositeit van metaal films, saamgestelde films.As Al en Si gebruik word as die teikenmateriaal vir die twee-planêre magnetronteikens wat by die periferie geïnstalleer is, kan Al203 of Si0 metaal-keramiekfilms neergelê en voorberei word.Daarbenewens kan verskeie klein vlakke van multi-boog verdampingsbron by die periferie geïnstalleer word, en die teikenmateriaal daarvan kan Cr of Ni wees, en metaalfilms en meerlaag saamgestelde films kan neergelê en voorberei word.Daarom is hierdie saamgestelde coating tegnologie 'n saamgestelde coating tegnologie met veelvuldige toepassings.
Postyd: Nov-08-2022