HFCVD0606

የኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ መሳሪያዎች የቫኩም ሽፋን ክፍል ገለልተኛ ባለ ሁለት ሽፋን የውሃ ማቀዝቀዣ መዋቅርን ይቀበላል, ይህም በብቃት እና በማቀዝቀዝ ውስጥ አንድ አይነት ነው, እና አስተማማኝ እና የተረጋጋ መዋቅር አለው.መሳሪያዎቹ የተነደፉት በድርብ በሮች፣ በርካታ የመመልከቻ መስኮቶች እና በርካታ የማስፋፊያ በይነገጾች ሲሆን ይህም እንደ ኢንፍራሬድ የሙቀት መለኪያ፣ የእይታ ትንተና፣ የቪዲዮ ክትትል እና ቴርሞኮፕል ላሉ ረዳት ክፍሎች ውጫዊ ግንኙነት ምቹ ነው።የላቀ የንድፍ ፅንሰ-ሀሳብ እለታዊ ጥገና እና ጥገና፣ የውቅረት ለውጥ እና የመሳሪያውን ማሻሻል ቀላል እና ቀላል ያደርገዋል እንዲሁም የአጠቃቀም እና የማሻሻያ ወጪዎችን ውጤታማ ያደርገዋል።

የመሳሪያ ባህሪያት:

1.The መሣሪያዎች የዋጋ ግሽበት ክፍሎች ሂደት ጋዝ ፍሰት ትክክለኛ ቁጥጥር, ወጥ መቀላቀልን እና የተለያዩ ጋዞች መካከል ደህንነቱ ማግለል, እና አጠቃቀም ጋዝ ሥርዓት ክፍሎች መምረጥ ይችላሉ ይህም የጅምላ ፍሰት ሜትር, solenoid ቫልቭ እና ጋዝ መቀላቀልን ታንክ, ያካትታሉ. የፈሳሽ ጋዝ ምንጭ፣ የተለያዩ የፈሳሽ የካርበን ምንጮች ግላዊ ምርጫን ያመቻቻል፣ እና ሰው ሰራሽ ዳይመንድ እና ኤሌክትሮይድ ፈሳሽ ቦሮን ምንጮችን ደህንነቱ የተጠበቀ አጠቃቀምን ያመቻቻል።
2.The አየር የማውጣት ስብሰባ በፍጥነት ከፍተኛ ቫክዩም ዳራ አካባቢ ማሟላት የሚችል ጸጥ ያለ እና ቀልጣፋ rotary vane vacuum ፓምፕ እና ቱርቦ ሞለኪውላዊ ፓምፕ ሥርዓት የታጠቁ ነው.የተቀነባበረ የቫኩም መለኪያ በተቃውሞ መለኪያ እና ionization መለኪያ ለቫኩም መለኪያ ጥቅም ላይ ይውላል, እንዲሁም የተለያዩ የሂደት ጋዞችን ግፊት በስፋት ሊለካ የሚችል የ capacitive ፊልም መለኪያ ስርዓት ጥቅም ላይ ይውላል.የማስቀመጫ ግፊቱ ሙሉ በሙሉ በራስ-ሰር በከፍተኛ ትክክለኛነት በተመጣጣኝ መቆጣጠሪያ ቫልቭ ቁጥጥር ይደረግበታል።
3.የማቀዝቀዣው የውሃ አካል በበርካታ ቻናል የውሃ ግፊት, ፍሰት, የሙቀት መለኪያ እና የሶፍትዌር አውቶማቲክ ቁጥጥር የተገጠመለት ነው.የተለያዩ የማቀዝቀዣ ክፍሎች አንዳቸው ከሌላው ነፃ ናቸው, ይህም ፈጣን ስህተትን ለመመርመር ምቹ ነው.ሁሉም ቅርንጫፎች ገለልተኛ የቫልቭ መቀየሪያዎች አሏቸው, ይህም አስተማማኝ እና ቀልጣፋ ነው.
4.የኤሌክትሪክ መቆጣጠሪያ አካላት ትልቅ መጠን ያለው ሰው-ማሽን በይነገጽ LCD ስክሪን ይቀበላሉ እና ከ PLC ሙሉ-አውቶማቲክ ቁጥጥር ጋር በመተባበር የሂደቱን ቀመር ማስተካከል እና ማስመጣት ለማመቻቸት።የግራፊክ ኩርባው የተለያዩ መለኪያዎች ለውጦችን እና እሴቶችን በእይታ ያሳያል፣ እና የችግር ፍለጋን እና የውሂብ ስታቲስቲካዊ ትንታኔን ለማመቻቸት መሳሪያዎቹ እና የሂደቱ መለኪያዎች በራስ ሰር ተመዝግበው በማህደር ይቀመጣሉ።
5.The workpiece መደርደሪያ substrate ጠረጴዛ ማንሳት እና ዝቅ ለመቆጣጠር አንድ servo ሞተር ጋር የታጠቁ ነው.የግራፋይት ወይም ቀይ የመዳብ ንኡስ ሠንጠረዥ ሊመረጥ ይችላል.የሙቀት መጠኑ የሚለካው በቴርሞኮፕል ነው.
6.The rack ክፍሎች የደንበኞችን ልዩ አያያዝ መስፈርቶች ለማሟላት በደንበኞች መስፈርቶች መሠረት በአጠቃላይ ወይም በተናጥል ሊዘጋጁ ይችላሉ.
7.The መታተም የታርጋ ክፍሎች ውብ እና የሚያምር ናቸው.በመሳሪያዎቹ የተለያዩ ተግባራዊ ሞጁል ቦታዎች ውስጥ ያሉ የማተሚያ ሰሌዳዎች በፍጥነት ሊበታተኑ ወይም ሊከፈቱ እና በተናጥል ሊዘጉ ይችላሉ, ይህም ለመጠቀም በጣም ምቹ ነው.

ሙቅ ክር CVD መሣሪያዎች ቀጭን ፊልም ሽፋን, ራስን የሚደግፍ ወፍራም ፊልም, microcrystalline እና nanocrystalline አልማዝ, conductive አልማዝ, ወዘተ ጨምሮ የአልማዝ ቁሶች, ለማስቀመጥ ተስማሚ ነው, ይህ በዋናነት የሲሚንቶ ካርቦይድ መቁረጫ መሣሪያዎች, ሴሚኮንዳክተር ቁሶች እንዲለብሱ-የሚቋቋም መከላከያ ልባስ ጥቅም ላይ ይውላል. እንደ ሲሊከን እና ሲሊከን ካርቦይድ ፣ የመሳሪያዎች ሙቀት መበታተን ፣ ቦሮን ዶፔድ ኮንዳክቲቭ አልማዝ ኤሌክትሮድ ፣ የኦዞን የኤሌክትሮላይቲክ ውሃ ወይም የፍሳሽ ማስወገጃ።