የሲሊንደሪክ ዒላማዎች ጥቅሞች

1) የሲሊንደሪክ ኢላማዎች ከዕቅድ ዒላማዎች የበለጠ የአጠቃቀም መጠን አላቸው።የ ልባስ ሂደት ውስጥ, ይህ ሮታሪ መግነጢሳዊ ዓይነት ወይም rotary tube አይነት ሲሊንደር sputtering ዒላማ እንደሆነ, ዒላማ ቱቦ ላይ ላዩን ሁሉም ክፍሎች ያለማቋረጥ ካቶድ sputtering ለመቀበል በቋሚ ማግኔት ፊት የመነጨ sputtering አካባቢ ያልፋል, እና ኢላማው ወጥ በሆነ መልኩ ሊተፋ ይችላል፣ እና የዒላማው አጠቃቀም መጠን ከፍተኛ ነው።የታለሙ ቁሳቁሶች የአጠቃቀም መጠን 80% ~ 90% ገደማ ነው.

2) የሲሊንደሪክ ዒላማዎች "ዒላማ መርዝ" ለማምረት ቀላል አይሆንም.በሽፋን ሂደት ውስጥ, የታለመው ቱቦ ገጽታ ሁልጊዜ በ ions የተበተለ እና የተቀረጸ ነው, እና ወፍራም ኦክሳይዶችን እና ሌሎች መከላከያ ፊልሞችን በላዩ ላይ ማከማቸት ቀላል አይደለም, እና "የዒላማ መርዝ" ለማምረት ቀላል አይደለም.

3) የ rotary target tube type cylindrical sputtering target አወቃቀሩ ቀላል እና ለመጫን ቀላል ነው።

4) የሲሊንደሪክ ኢላማ ቱቦ ቁሳቁስ የተለያዩ ዓይነቶች አሉት.የፕላን ኢላማ ከብረት ዒላማ ጋር ቀጥተኛ ውሃ ማቀዝቀዝ፣ እና አንዳንዶች ሊሠሩ አይችሉም እና እንደ In2-SnO2 ዒላማ ወዘተ ያሉ ሲሊንደራዊ ዒላማዎች መመስረት አይችሉም። ትልቅ, እና ተሰባሪ, ስለዚህ ለማዋሃድ እና ከዚያም በታለመው መሠረት ላይ ለመጫን brazing ዘዴ እና የመዳብ backplate መጠቀም አስፈላጊ ነው.ከብረት ቱቦዎች በተጨማሪ የአዕማድ ዒላማዎች ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች ላይ የተለያዩ መሸፈኛ በሚያስፈልጋቸው እንደ Si፣ Cr፣ ወዘተ.

በአሁኑ ጊዜ በኢንዱስትሪ ምርት ውስጥ ለመሸፈኛ የሲሊንደሪክ ኢላማዎች መጠን እየጨመረ ነው.የሲሊንደሪክ ዒላማዎች ለቀጥታ ሽፋን ማሽን ብቻ ሳይሆን ለመጠቅለያ ማሽን በሮል ውስጥም ይጠቀማሉ.በቅርብ ዓመታት ውስጥ, የፕላነር መንትዮች ዒላማዎች ቀስ በቀስ በሲሊንደሪክ መንትያ ዒላማዎች ይተካሉ.

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ፣ አየኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.