1. የ workpiece አድልዎ ዝቅተኛ ነው
የ ionization ፍጥነትን ለመጨመር መሳሪያ በመጨመሩ, የመልቀቂያው የአሁኑ እፍጋት ይጨምራል, እና የአድልዎ ቮልቴጅ ወደ 0.5 ~ 1kV ይቀንሳል.
በከፍተኛ ኃይል ionዎች ከመጠን በላይ ቦምብ በመፈንዳቱ ምክንያት የሚፈጠረው የኋላ ታሪክ እና በ workpiece ገጽ ላይ የሚደርሰው ጉዳት ይቀንሳል።
2. የፕላዝማ እፍጋት መጨመር
የግጭት ionizationን ለማበረታታት የተለያዩ እርምጃዎች ተጨምረዋል, እና የብረት ionization መጠን ከ 3% ወደ 15% ከፍ ብሏል.የአገጭ አየኖች ጥግግት እና ከፍተኛ-ኃይል ገለልተኛ አቶሞች, ናይትሮጅን አየኖች, ከፍተኛ-ኃይል ንቁ አቶሞች እና ሽፋን ክፍል ውስጥ ንቁ ቡድኖች, ውህዶች ለማቋቋም የሚያስችል ምላሽ ጨምሯል.ከላይ ያሉት የተለያዩ የተሻሻሉ የፍላይ ልቀቶች ion ሽፋን ቴክኖሎጂዎች የቲኤን ሃርድ ፊልም ንብርብሮችን በከፍተኛ የፕላዝማ እፍጋቶች ምላሽ በማስቀመጥ ማግኘት ችለዋል ነገር ግን ከግላይ ፈሳሽ አይነት ጋር የተያያዙ በመሆናቸው የፈሳሽ መጠኑ በቂ አይደለም (አሁንም mA/cm2 ደረጃ ), እና አጠቃላይ የፕላዝማ እፍጋት በቂ አይደለም, እና የምላሽ ማስቀመጫው ድብልቅ ሽፋን ሂደት አስቸጋሪ ነው.
3. የነጥብ ትነት ምንጭ ሽፋን ክልል ትንሽ ነው
የተለያዩ የተሻሻሉ የአዮን ሽፋን ቴክኖሎጂዎች የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጮችን ይጠቀማሉ፣ እና ጋንቱ እንደ ነጥብ ትነት ምንጭ ይጠቀማሉ፣ ይህም ከጋንቱ በላይ ለተወሰነ ጊዜ ምላሽ ለመስጠት የተወሰነ ነው፣ ስለዚህ ምርታማነቱ ዝቅተኛ ነው፣ ሂደቱ አስቸጋሪ ነው፣ እና ኢንዱስትሪያል ለማድረግ አስቸጋሪ ነው።
4. የኤሌክትሮኒክስ ሽጉጥ ከፍተኛ-ግፊት አሠራር
የኤሌክትሮን ሽጉጥ ቮልቴጅ 6 ~ 30kV ነው, እና workpiece አድሏዊ ቮልቴጅ 0.5 ~ 3kV ነው, ይህም ከፍተኛ-ቮልቴጅ ክወና ንብረት እና የተወሰኑ የደህንነት አደጋዎች አሉት.
——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ፣ አየኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.
የልጥፍ ሰዓት፡- ግንቦት-12-2023