የሙቅ ሽቦ ቅስት የተሻሻለ የፕላዝማ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ

የሙቅ ሽቦ ቅስት የተሻሻለው የፕላዝማ ኬሚካላዊ ትነት የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ የሙቅ ሽቦውን አርክ ሽጉጥ በመጠቀም አርክ ፕላዝማን ለማስለቀቅ፣ እንደ ሙቅ ሽቦ አርክ PECVD ቴክኖሎጂ አህጽሮታል።ይህ ቴክኖሎጂ ከሙቅ ሽቦ አርክ ሽጉጥ ion ልባስ ቴክኖሎጂ ጋር ተመሳሳይ ነው ነገር ግን ልዩነቱ በሙቅ ሽቦ አርክ ሽጉጥ ion ሽፋን የሚገኘው ጠንካራ ፊልም በሙቅ ሽቦ አርክ ሽጉጥ የሚወጣውን አርክ ብርሃን ኤሌክትሮን ፍሰት በመጠቀም ብረቱን ለማሞቅ እና ለማትነን ይጠቀማል። የሙቅ ሽቦ ቅስት ብርሃን PECVD የአልማዝ ፊልሞችን ለማስቀመጥ የሚያገለግሉ እንደ CH4 እና H2 ባሉ ምላሽ ጋዞች ሲመገብ።በሙቅ ሽቦ አርክ ሽጉጥ በሚወጣው ከፍተኛ-ጥቅጥቅ ያለ የአርክ ፍሳሽ ፍሰት ላይ በመመስረት ምላሽ ሰጪው ጋዝ ionዎች የጋዝ ionዎችን ፣ አቶሚክ ionዎችን ፣ ንቁ ቡድኖችን እና የመሳሰሉትን ጨምሮ የተለያዩ ንቁ ቅንጣቶችን ለማግኘት በጣም ይደሰታሉ።

በሙቅ ሽቦው ቅስት PECVD መሳሪያ ውስጥ፣ ሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያዎች ከሽፋን ክፍሉ ውጭ አሁንም ተጭነዋል፣ ይህም ከፍተኛ መጠን ያለው የኤሌክትሮን ፍሰት ወደ አኖድ በሚሄድበት ጊዜ እንዲሽከረከር በማድረግ በኤሌክትሮን ፍሰት እና በምላሽ ጋዝ መካከል የመጋጨት እና ionization እድል ይጨምራል። .የኤሌክትሮማግኔቲክ መጠምጠሚያው የጠቅላላውን የማስቀመጫ ክፍል የፕላዝማ መጠን ለመጨመር ወደ ቅስት አምድ ሊጣመር ይችላል።በአርክ ፕላዝማ ውስጥ የእነዚህ ንቁ ቅንጣቶች እፍጋት ከፍተኛ ነው ፣ ይህም የአልማዝ ፊልሞችን እና ሌሎች የፊልም ሽፋኖችን በስራው ላይ ለማስቀመጥ ቀላል ያደርገዋል።

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ፣ አየኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.