ጠንካራ ሽፋኖችን ለማስቀመጥ ወደ ተለምዷዊ ቴክኒኮች መግቢያ

1. የሙቀት ሲቪዲ ቴክኖሎጂ

ጠንካራ ሽፋኖች በአብዛኛው የብረት ሴራሚክ ሽፋን (ቲኤን, ወዘተ) ናቸው, እነዚህም በብረታ ብረት ምላሽ እና ምላሽ ሰጪ ጋዞች አማካኝነት የተገነቡ ናቸው.በመጀመሪያ የቴርማል ሲቪዲ ቴክኖሎጂ በ 1000 ℃ ከፍተኛ የሙቀት መጠን በሙቀት ሃይል የማግበር ኃይልን ለማቅረብ ጥቅም ላይ ውሏል።ይህ የሙቀት መጠን ቲኤን እና ሌሎች ጠንካራ ሽፋኖችን በሲሚንቶ ካርበይድ መሳሪያዎች ላይ ለማስቀመጥ ብቻ ተስማሚ ነው.እስካሁን ድረስ የቲኤን-አል20 ድብልቅ ሽፋኖችን በሲሚንቶ ካርቦይድ መሳሪያ ጭንቅላት ላይ ማስገባት አሁንም ጠቃሚ ቴክኖሎጂ ነው.

2. ባዶ ካቶድ ion ሽፋን እና ሙቅ ሽቦ አርክ ion ሽፋን

በ 1980 ዎቹ ውስጥ, ባዶ ካቶድ ion ሽፋን እና ሙቅ ሽቦ አርክ ion ሽፋን የተሸፈኑ የመቁረጫ መሳሪያዎችን ለማስቀመጥ ያገለግሉ ነበር.እነዚህ ሁለቱም የ ion ልባስ ቴክኖሎጂዎች የአርሲ ፈሳሽ ion ሽፋን ቴክኖሎጂዎች ናቸው, የብረት ionization ፍጥነት እስከ 20% ~ 40% ድረስ.

3. የካቶድ አርክ ion ሽፋን

የካቶዲክ አርክ ion ሽፋን ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ብቅ ማለት ነው.የካቶዲክ ቅስት አዮን ሽፋን ionization ፍጥነት 60% ~ 90% ነው, ብረት ions እና ምላሽ ጋዝ አየኖች መካከል ትልቅ ቁጥር ወደ workpiece ላይ ላዩን ለመድረስ እና አሁንም ከፍተኛ እንቅስቃሴ ለመጠበቅ በመፍቀድ, ምላሽ ተቀማጭ እና እንደ ጠንካራ ሽፋን ምስረታ ምክንያት. ቲኤን.በአሁኑ ጊዜ የካቶዲክ አርክ ion ሽፋን ቴክኖሎጂ በዋናነት በሻጋታ ላይ ጠንካራ ሽፋኖችን ለማስቀመጥ ያገለግላል።

የካቶድ ቅስት ምንጭ ቋሚ ቀልጦ ገንዳ ከሌለው ጠንካራ-ግዛት የትነት ምንጭ ነው ፣ እና የአርክ ምንጭ አቀማመጥ በዘፈቀደ ሊቀመጥ ይችላል ፣ ይህም የሽፋኑን ክፍል የቦታ አጠቃቀም መጠን ያሻሽላል እና የእቶኑን የመጫን አቅም ይጨምራል።የካቶድ ቅስት ምንጮች ቅርፆች ትናንሽ ክብ የካቶድ ቅስት ምንጮች፣ የአዕማድ ቅስት ምንጮች እና አራት ማዕዘን ቅርጽ ያላቸው ጠፍጣፋ ትላልቅ የአርክ ምንጮች ያካትታሉ።ባለብዙ-ንብርብር ፊልሞችን እና ናኖ ባለ ብዙ ሽፋን ፊልሞችን ለማስቀመጥ የተለያዩ የትናንሽ ቅስት ምንጮች ፣ የአምድ አርክ ምንጮች እና ትላልቅ የአርክ ምንጮች የተለያዩ ክፍሎች ሊዘጋጁ ይችላሉ ።ይህ በእንዲህ እንዳለ በካቶዲክ ቅስት አዮን ሽፋን ከፍተኛ የብረት ionization ፍጥነት ምክንያት የብረት ionዎች ተጨማሪ የአጸፋዊ ጋዞችን ሊወስዱ ይችላሉ, በዚህም ምክንያት በጣም ጥሩ ደረቅ ሽፋን ለማግኘት ሰፊ የሂደት ክልል እና ቀላል ቀዶ ጥገና ያስገኛል.ይሁን እንጂ በካቶዲክ አርክ ion ሽፋን የተገኘ የንብርብር ሽፋን ማይክሮስትራክቸር ውስጥ ጥቅጥቅ ያሉ ጠብታዎች አሉ.በቅርብ ዓመታት ውስጥ, የፊልም ንብርብር መዋቅርን ለማጣራት ብዙ አዳዲስ ቴክኖሎጂዎች ብቅ አሉ, ይህም የአርኪን ሽፋን ፊልም ጥራት አሻሽሏል.

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ፣ አየኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.