የፕላዝማ ቀጥተኛ ፖሊሜራይዜሽን ሂደት

የፕላዝማ ቀጥተኛ ፖሊሜራይዜሽን ሂደት

የፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ሂደት ለሁለቱም የውስጥ ኤሌክትሮል ፖሊሜራይዜሽን መሳሪያዎች እና ውጫዊ ኤሌክትሮዶች ፖሊሜራይዜሽን መሳሪያዎች በአንፃራዊነት ቀላል ናቸው, ነገር ግን በፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ውስጥ የመለኪያ ምርጫ በጣም አስፈላጊ ነው, ምክንያቱም መለኪያዎች በፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ወቅት በፖሊሜር ፊልሞች መዋቅር እና አፈፃፀም ላይ የበለጠ ተጽእኖ ይኖራቸዋል.

ለቀጥታ ፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን የአሠራር ደረጃዎች እንደሚከተለው ናቸው ።

(1) ቫክዩምሚንግ

በቫክዩም ሁኔታዎች ውስጥ ያለው የ polymerization የጀርባ ቫክዩም ወደ 1.3 × 10-1Pa መጣል አለበት.የኦክስጂንን ወይም ናይትሮጅን ይዘትን ለመቆጣጠር ልዩ መስፈርቶችን ለሚፈልጉ ፖሊሜራይዜሽን ግብረመልሶች የበስተጀርባ የቫኩም ፍላጎት የበለጠ ነው።

(2) የቻርጅ ምላሽ ሞኖመር ወይም የተቀላቀለ ጋዝ ተሸካሚ ጋዝ እና ሞኖመር

የቫኩም ዲግሪ 13-130 ፓ.ሥራ ለሚፈልግ የፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ፣ ትክክለኛው የፍሰት መቆጣጠሪያ ሁነታ እና የፍሰት መጠን መመረጥ አለበት ፣ በአጠቃላይ 10.100mL / ደቂቃ።በፕላዝማ ውስጥ ሞኖመር ሞለኪውሎች ionized እና በሃይል ቅንጣቶች ቦምብ ተለያይተዋል, በዚህም እንደ ion እና ንቁ ጂኖች ያሉ ንቁ ቅንጣቶችን ያስከትላሉ.በፕላዝማ የነቁ ንቁ ቅንጣቶች በጋዝ ደረጃ እና በጠንካራ ደረጃ በይነገጽ ላይ የፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ሊደረጉ ይችላሉ።ሞኖመር ለፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን የቅድሚያ ምንጭ ነው፣ እና የግቤት ምላሽ ጋዝ እና ሞኖሜር የተወሰነ ንፅህና ሊኖራቸው ይገባል።

(3) የመቀስቀስ ኃይል አቅርቦት ምርጫ

ለፖሊሜራይዜሽን የፕላዝማ አካባቢን ለማቅረብ ፕላዝማ በዲሲ፣ ከፍተኛ ድግግሞሽ፣ RF ወይም ማይክሮዌቭ የኃይል ምንጮች በመጠቀም ሊፈጠር ይችላል።የኃይል አቅርቦት ምርጫ የሚወሰነው በፖሊሜር መዋቅር እና አፈፃፀም መስፈርቶች ላይ በመመርኮዝ ነው.

(4) የመልቀቂያ ሁነታ ምርጫ

ለፖሊሜር መስፈርቶች, ፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ሁለት የመልቀቂያ ሁነታዎችን መምረጥ ይችላል-ቀጣይ ፈሳሽ ወይም የልብ ምት.

(5) የመልቀቂያ መለኪያዎች ምርጫ

የፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ሲያካሂዱ, የመልቀቂያ መለኪያዎችን ከፕላዝማ መለኪያዎች, ፖሊመር ባህሪያት እና የመዋቅር መስፈርቶች ግምት ውስጥ ማስገባት ያስፈልጋል.በፖሊሜራይዜሽን ወቅት የተተገበረው ኃይል መጠን የሚወሰነው በቫኩም ክፍል, ኤሌክትሮድ መጠን, ሞኖሜር ፍሰት መጠን እና መዋቅር, ፖሊሜራይዜሽን ፍጥነት እና ፖሊመር መዋቅር እና አፈፃፀም መጠን ነው.ለምሳሌ, የምላሽ ክፍሉ መጠን 1L ከሆነ እና የ RF Plasma polymerization ተቀባይነት ያለው ከሆነ, የማፍሰሻ ሃይል በ 10 ~ 30W ክልል ውስጥ ይሆናል.በእንደዚህ ዓይነት ሁኔታዎች ውስጥ, የሚፈጠረው ፕላዝማ በስራው ላይ ባለው ወለል ላይ ቀጭን ፊልም ለመፍጠር ሊዋሃድ ይችላል.የፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ፊልም የእድገት ፍጥነት በሃይል አቅርቦት, በሞኖሜር አይነት እና ፍሰት መጠን እና በሂደት ሁኔታዎች ይለያያል.በአጠቃላይ የእድገቱ መጠን 100nm/min~1um/ደቂቃ ነው።

(6) በፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ውስጥ መለኪያ መለኪያ

በፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ውስጥ የሚለካው የፕላዝማ መለኪያዎች እና የሂደት መለኪያዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ፡ የቮልቴጅ መልቀቂያ፣ የፍሰት ጅረት፣ የመልቀቂያ ድግግሞሽ፣ የኤሌክትሮን ሙቀት፣ ጥግግት፣ ምላሽ ቡድን አይነት እና ትኩረት፣ ወዘተ.

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ፣ አየኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.