የስፕቲንግ ሽፋን ማሽን ሂደት ፍሰት

1. የቦምብ ማጽጃ ንጣፍ

1.1) ንጣፉን ለማጽዳት የሚረጭ ማሽነሪ ማሽን የሚያብረቀርቅ ፈሳሽ ይጠቀማል።ይህም ማለት የአርጎን ጋዝ ወደ ክፍሉ ውስጥ ያስገባል, የመፍሰሻ ቮልቴጁ 1000 ቪ አካባቢ ነው, የኃይል አቅርቦቱን ካበራ በኋላ, ፍካት ፈሳሽ ይፈጠራል, እና ንጣፉ በአርጎን ion ቦምብ ይጸዳል.

1.2) በኢንዱስትሪያዊ ደረጃ ከፍተኛ ጌጣጌጦችን በሚያመርቱ የስፕተር ማቀፊያ ማሽኖች ውስጥ, በትናንሽ አርክ ምንጮች የሚወጣው የታይታኒየም ionዎች በአብዛኛው ለማጽዳት ያገለግላሉ.የሚረጭ ማቀፊያ ማሽን በትንሽ የአርክ ምንጭ የተገጠመለት ሲሆን በትንሽ የአርክ ምንጭ መልቀቅ በተፈጠረው አርክ ፕላዝማ ውስጥ ያለው የታይታኒየም ion ዥረት ንብረቱን በቦምብ ለማንፀባረቅ እና ለማጽዳት ይጠቅማል።

2. ቲታኒየም ናይትራይድ ሽፋን

ቲታኒየም ናይትራይድ ቀጭን ፊልሞችን በሚያስቀምጡበት ጊዜ ለመርጨት የታለመው ቁሳቁስ የታይታኒየም ኢላማ ነው።የታለመው ቁሳቁስ ከተሰካው የኃይል አቅርቦት አሉታዊ ኤሌክትሮል ጋር የተገናኘ ሲሆን, የቮልቴጅ ቮልቴጅ 400 ~ 500V;የአርጎን ፍሰቱ ተስተካክሏል, እና የመቆጣጠሪያው ክፍተት (3 ~ 8) x10 ነው^-1ፒ.ኤ.ንጣፉ ከ 100 ~ 200 ቪ ቮልቴጅ ጋር ከአድልዎ የኃይል አቅርቦት አሉታዊ ኤሌክትሮል ጋር ተያይዟል.

የታይታኒየም ዒላማውን የኃይል አቅርቦትን ካበራ በኋላ የሚያብረቀርቅ ፈሳሽ ይፈጠራል፣ እና ከፍተኛ ኃይል ያለው የአርጎን ionዎች የተተፋውን ኢላማ በቦምብ ይወርዳሉ፣ የታይታኒየም አተሞችን ከዒላማው ይረጫሉ።

ምላሽ ጋዝ ናይትሮጅን አስተዋውቋል, እና የታይታኒየም አቶሞች እና ናይትሮጅን ወደ ልባስ ክፍል ውስጥ የታይታኒየም ions እና ናይትሮጅን አየኖች ወደ ionized ናቸው.በአሉታዊው ኤሌክትሪክ መስክ ላይ በተተገበረው አሉታዊ አድሎአዊ መስህብ ስር የታይታኒየም አየኖች እና ናይትሮጅን አየኖች ለኬሚካላዊ ምላሽ እና ለማከማቸት ወደ ወለሉ ወለል ያፋጥናሉ የታይታኒየም ናይትራይድ ፊልም ንብርብር።

3. ንጣፉን አውጣ

አስቀድሞ የተወሰነውን የፊልም ውፍረት ከደረሱ በኋላ የሚረጨውን የኃይል አቅርቦት፣ የንዑስ ፕላስተር አድልዎ የኃይል አቅርቦትን እና የአየር ምንጩን ያጥፉ።የሙቀት መጠኑ ከ 120 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በታች ከሆነ በኋላ የሽፋኑን ክፍል በአየር ይሞሉ እና ንጣፉን ይውሰዱ።

ይህ ጽሑፍ የታተመው በየማግኔትሮን ስፓይተር ማቀፊያ ማሽን አምራች- ጓንግዶንግ ዠንዋ