ባዶ ካቶድ ion ሽፋን ሂደት እንደሚከተለው ነው.
1. ቺን ኢንጎቶችን ወደ ውድቀት ውስጥ ያስገቡ።
2, የ workpiece መጫን.
3. ወደ 5 × 10-3 ፓ ከወጣ በኋላ የአርጎን ጋዝ ከብር ቱቦ ወደ መከለያው ክፍል ውስጥ ይገባል ፣ እና የቫኩም መጠኑ 100 ፓ አካባቢ ነው።
4. የአድልዎ ኃይልን ያብሩ።
5, ባዶ ካቶድ ፍሳሽ ለማቀጣጠል የ ቅስት ኃይልን ካበራ በኋላ በአዝራሩ ቱቦ ውስጥ ይፈጠራል, የመፍሰሻ ቮልቴጅ 800 ~ 1000V ነው, የ ቅስት-ማሳደግ ወቅታዊው 30 ~ 50A ነው. ፈሳሽ ፣ ከፍተኛ ፍካት ፈሳሽ የአሁን ጥግግት ፣በብር ቱቦ ውስጥ ያለው ከፍተኛ የአይጥ ions ብዛት የቫንቴጅ ቱቦውን ግድግዳ ላይ ደበደበው ፣የቱቦው ግድግዳ በፍጥነት ወደ ኤሌክትሮን ፍሰት ልቀትን ያሞቃል ቅስት መልቀቅ፣ቮልቴጅ 40 ~ 70V ነው፣አሁን ያለው 80~300A
6. የቫኩም ደረጃ ማስተካከል።ከካቶድ ሽጉጥ የሚለቀቀው የቫኩም ደረጃ 100 ፒኤ ገደማ ነው።የሽፋኑ የቫኩም ዲግሪ ደግሞ 8×10-1~2Pa ነው።ስለዚህ የአርከስ ፈሳሽ ከተቀጣጠለ በኋላ የሚመጣውን አርጎን ይቀንሱ። ጋዝ በተቻለ ፍጥነት ፣የቫኩም ደረጃን ለመሸፈኛ ተስማሚ በሆነ ክልል ያስተካክሉት።
7. ቲታኒየም የታሸገ ቤዝ ንብርብር.የኤሌክትሮን anodically ወድቆ ቺን ብረት ingot ላይ ፍሰት, Kinetic ኃይል ወደ የሙቀት ኃይል መለወጥ, Chin ብረት በማሞቅ ትነት, የእንፋሎት አተሞች የታይታኒየም ፊልም ለመመስረት workpiece ላይ ደርሰዋል.
8, TiN.Nitrogen ጋዝ ተቀማጭ ወደ ልባስ ክፍል, ናይትሮጅን ጋዝ እና በትነት አተሞች ወደ ናይትሮጅን እና የታይታኒየም ions ወደ ionized ናቸው. ከ crucible በላይ, ዝቅተኛ ኃይል ኤሌክትሮኖች መካከል ጥቅጥቅ ጅረቶች ጋር የታይታኒየም የእንፋሎት አተሞች inelastic ግጭት ከፍተኛ ዕድል የብረት መበታተን መጠን እስከ 20% ~ 40% ከፍ ያለ ነው ፣የቲታኒየም ions በኬሚካላዊ ምላሽ ከጋዝ ናይትሮጅን ጋር በኬሚካላዊ ምላሽ የመስጠት ዕድላቸው ከፍተኛ ነው ፣የኒትራይድ ማንትል ፊልም ሽፋን ለማግኘት ማስቀመጫ። የ ionization.በሽፋን ጊዜ, በክሩክብል ዙሪያ ያለው የኤሌክትሮማግኔቲክ ጠመዝማዛ ወቅታዊ ሁኔታም መስተካከል አለበት, የኤሌክትሮን ጨረሩን ወደ ውድቀት ማእከል ያተኩሩ, ስለዚህ የኤሌክትሮን ፍሰት የኃይል ጥንካሬ ይጨምራል.
9, ኃይል ጠፍቷል.የፊልሙ ውፍረት አስቀድሞ የተወሰነው የፊልም ውፍረት ላይ ከደረሰ በኋላ,የአርክ ኃይል አቅርቦትን ያጥፉ,ቢያስ የኃይል አቅርቦት እና የአየር አቅርቦት.
የልጥፍ ሰዓት፡- ጁላይ-08-2023