በማግኔትሮን መትፋት ላይ ዒላማ መመረዝን የሚነኩ ነገሮች ምንድን ናቸው?

1, በዒላማው ወለል ላይ የብረት ውህዶች መፈጠር
ውህድ ከብረት ዒላማው ወለል ላይ በአጸፋዊ መትፋት ሂደት ውስጥ የተፈጠረው ውህድ የት ነው?በአጸፋዊ የጋዝ ቅንጣቶች እና በዒላማው ወለል አተሞች መካከል ያለው ኬሚካላዊ ምላሽ ውህድ አተሞችን ስለሚያመነጭ ፣ ይህም ብዙውን ጊዜ ወጣ ገባ ነው ፣ የምላሽ ሙቀት መውጫ መንገድ ሊኖረው ይገባል ፣ አለበለዚያ ኬሚካላዊው ምላሽ ሊቀጥል አይችልም።በቫኩም ሁኔታዎች ውስጥ, በጋዞች መካከል ሙቀት ማስተላለፍ አይቻልም, ስለዚህ የኬሚካላዊው ምላሽ በጠንካራ መሬት ላይ መከናወን አለበት.ምላሽ መትረየስ በዒላማ ንጣፎች ላይ ውህዶችን ያመነጫል።ውህዶችን በንዑስ ፕላስተር ወለል ላይ ማመንጨት ግቡ ነው፣ ውህዶችን በሌሎች መዋቅራዊ ገጽታዎች ላይ ማመንጨት የሃብት ብክነት ነው፣ እና በተፈለገው ቦታ ላይ ውህዶችን ማመንጨት እንደ ውሁድ አተሞች ምንጭ ይጀምራል እና ተጨማሪ ውህድ አቶሞችን ያለማቋረጥ ለማቅረብ እንቅፋት ይሆናል።

2, የዒላማ መመረዝ ተፅእኖ ምክንያቶች
በታለመው መመረዝ ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድረው ዋናው ነገር የምላሽ ጋዝ እና የሚረጭ ጋዝ ጥምርታ ነው፣ ​​በጣም ብዙ ምላሽ ሰጪ ጋዝ ወደ ኢላማ መመረዝ ይመራል።አጸፋዊ sputtering ሂደት በታለመው ወለል sputtering ሰርጥ አካባቢ ምላሽ ውህድ የተሸፈነ ይመስላል ወይም ምላሽ ውህድ የተራቆተ እና ብረት ወለል ላይ እንደገና የተጋለጠ ነው.የኮምፕዩተር ማመንጨት መጠን ከውህድ ማስወገጃው መጠን የበለጠ ከሆነ, የግቢው ሽፋን ቦታ ይጨምራል.በአንድ የተወሰነ ኃይል, በተዋሃዱ ማመንጨት ውስጥ የሚኖረው የግብረ-መልስ ጋዝ መጠን ይጨምራል እና የስብስብ ማመንጨት ፍጥነት ይጨምራል.የምላሽ ጋዝ መጠን ከመጠን በላይ ከጨመረ, ውህዱ ሽፋን አካባቢ ይጨምራል.እና የግብረ-መልስ ጋዝ ፍሰት መጠን በጊዜ ውስጥ ማስተካከል ካልተቻለ, የውህድ ሽፋን አካባቢ መጨመር ፍጥነት አይታፈንም, እና የመፍቻው ሰርጥ ተጨማሪ በግቢው ይሸፈናል, የመርጨት ዒላማው ሙሉ በሙሉ በግቢው ሲሸፈነ, ዒላማው ነው. ሙሉ በሙሉ ተመርዘዋል.

3, የዒላማ መመረዝ ክስተት
(1) ፖዘቲቭ ion ክምችት፡- የታለመው መመረዝ በዒላማው ወለል ላይ የኢንሱላር ፊልም ንብርብር ሲፈጠር፣ የኢንሱሌሽን ንብርብር በመዘጋቱ ምክንያት አዎንታዊ ionዎች የካቶድ ኢላማው ወለል ላይ ይደርሳሉ።በቀጥታ ወደ ካቶድ ዒላማው ገጽ ውስጥ አይግቡ ፣ ነገር ግን በታለመው ወለል ላይ ይከማቹ ፣ ቀዝቃዛ መስክን ወደ ቅስት ማስወጣት - arcing ፣ ስለሆነም የካቶድ መትረፍ መቀጠል አይችልም።
(2) anode መጥፋት: ዒላማ መመረዝ, መሬት vacuum ክፍል ግድግዳ ደግሞ የማያስተላልፍና ፊልም ተቀማጭ, ወደ anode ኤሌክትሮኖች ወደ anode መግባት አይችልም መድረስ ጊዜ, anode መጥፋት ክስተት ምስረታ.

4, ስለ ኢላማ መመረዝ አካላዊ ማብራሪያ
(1) በአጠቃላይ የሁለተኛው የኤሌክትሮን ልቀት መጠን ከብረት ውህዶች ከፍ ያለ ነው።ከተመረዘ በኋላ የዒላማው ወለል ሁሉም የብረት ውህዶች ነው, እና በ ions ከተደበደቡ በኋላ, የሚለቀቁት ሁለተኛ ደረጃ ኤሌክትሮኖች ቁጥር ይጨምራል, ይህም የቦታውን ንፅፅር ያሻሽላል እና የፕላዝማውን ኢምፔዳንስ ይቀንሳል, ይህም ወደ ዝቅተኛ የቮልቴጅ ቮልቴጅ ይመራል.ይህ የመፍቻውን ፍጥነት ይቀንሳል.ባጠቃላይ የማግኔትሮን መትረየስ የቮልቴጅ መጠን በ 400V-600V መካከል ነው, እና የዒላማ መርዝ በሚፈጠርበት ጊዜ, የቮልቴጅ ቮልቴጅ በከፍተኛ ሁኔታ ይቀንሳል.
(2) የብረታ ብረት ኢላማ እና ውህድ ኢላማ በመጀመሪያ የሚተፋው ፍጥነቱ የተለየ ነው፣ በአጠቃላይ የብረታ ብረት መትረቻ መጠን ከውህዱ ውህድ ፈሳሽ ከፍ ያለ ነው፣ ስለዚህ ከተመረዘ በኋላ የመርጨት መጠኑ ዝቅተኛ ነው።
(3) አጸፋዊ sputtering ጋዝ የሚረጭ ቅልጥፍና መጀመሪያ inert ጋዝ የሚተፋ ቅልጥፍና ያነሰ ነው, ስለዚህ አጠቃላይ sputtering መጠን ምላሽ ጋዝ መጠን ይጨምራል በኋላ ይቀንሳል.

5, ለታለመ መመረዝ መፍትሄዎች
(1) መካከለኛ ፍሪኩዌንሲ የኃይል አቅርቦት ወይም የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ የኃይል አቅርቦትን መቀበል።
(2) የምላሽ ጋዝ ፍሰት መቆጣጠሪያውን በዝግ-ዙር ይቆጣጠሩ።
(3) መንትያ ኢላማዎችን ያዝ
(4) የመሸፈኛ ሁነታን ይቆጣጠሩ፡ ከመሸፈኑ በፊት የዒላማ መመረዝ የጅብ ተፅእኖ ከርቭ ተሰብስቧል ስለዚህም የመግቢያው አየር ፍሰት በዒላማ መመረዝ ፊት ለፊት ቁጥጥር ይደረግበታል, ይህም ሂደቱ ከመቀመጡ በፊት ሁልጊዜ በሂደቱ ውስጥ መሆኑን ለማረጋገጥ ነው. መጠኑ በከፍተኛ ሁኔታ ይቀንሳል.

- ይህ ጽሑፍ የታተመው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ ፣ የቫኩም ሽፋን መሣሪያዎች አምራች ነው።