የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች ብክለት ምንጮች ምንድ ናቸው

የየቫኩም ሽፋን መሳሪያዎችእንደ ብየዳ ፣ መፍጨት ፣ ማዞር ፣ ማቀድ ፣ አሰልቺ ፣ ወፍጮ እና የመሳሰሉት በብዙ ሂደቶች የተሠሩ ብዙ ትክክለኛ ክፍሎችን ያቀፈ ነው።በነዚህ ስራዎች ምክንያት የመሳሪያው ክፍሎች ወለል በአንዳንድ እንደ ቅባት፣ የዘይት ቆሻሻ፣ የብረት ቺፕስ፣ የመበየድ ፍሰት፣ መለጠፍ፣ ላብ ምልክቶች እና የመሳሰሉት ባሉ ብክለት መበከላቸው የማይቀር ነው።እነዚህ በካይ ነገሮች በቫኪዩም ሁኔታዎች ውስጥ በቀላሉ ሊለዋወጡ የሚችሉ ናቸው, ስለዚህም የመሳሪያውን የመጨረሻ ክፍተት ይነካል.

በተጨማሪም እነዚህ ከሜካኒካል ማቀነባበሪያ የሚመጡ ቫክዩም ብክሎች በከባቢ አየር ግፊት አካባቢ ውስጥ ከፍተኛ መጠን ያለው ጋዝ ይወስዳሉ እና በቫክዩም ሁኔታ ውስጥ እነዚህ ቀደም ሲል የተቀላቀሉ ጋዞች እንዲሁ እንደገና ይለቀቃሉ ፣ ይህም የገደቡን ክፍተት የሚገድብ ዋና ምክንያት ይሆናሉ።በዚህ ምክንያት የቫኩም ማሽኑ ክፍሎች ከመገጣጠም በፊት ብክለት መወገድ አለባቸው.

የቫኩም መሳሪያዎችን በሚጠቀሙበት ጊዜ, ክፍሎቹም ይበክላሉ.ሆኖም ግን, ከዚህ ምንጭ የሚመጣው ብክለት በዋነኝነት የሚከሰተው በአጠቃቀም ሁኔታዎች እና በቫኩም ፓምፕ ነው.

1. በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የቫኩም መለኪያ ክር መትነን በሴራሚክ ኢንሱለር ላይ ፊልም እንዲፈጠር ያደርገዋል, ይህም በተወሰነ መጠን የሽፋኑን ጥንካሬ ይጎዳል, እንዲሁም በእሱ ትክክለኛነት ላይ የተወሰነ ተጽእኖ ይኖረዋል. መለኪያ;

2. በከፍተኛ የሙቀት ትነት ምክንያት, በቫኩም ውስጥ በኤሌክትሮን ሽጉጥ ክር አቅራቢያ ላይ የብረት ፊልም ይፈጠራል;

3. ምክንያት workpiece sputtering, አዮን ጨረር etching መሣሪያዎች ውስጣዊ ግድግዳ ስፕላሽ የተበከለ ይሆናል;

4. ቫክዩም ትነት ሽፋን መሣሪያዎች ውስጠኛ ግድግዳ በውስጡ በትነት ዒላማ ቁሳዊ የተበከለ ይሆናል;

5. የቫኩም ማድረቂያ ስርዓት ብዙ ጊዜ ጥቅም ላይ ይውላል, እና ስርዓቱ በተበተኑ ንጥረ ነገሮች የተበከለ ይሆናል;

6. በቫኩም መሸፈኛ መሳሪያዎች ውስጥ ያለው ስርጭቱ የፓምፕ ዘይት እና የሜካኒካል የፓምፕ ዘይት ዋነኛ የብክለት ምንጭ ናቸው.የሽፋን ማሽኑ ለረጅም ጊዜ ሲሰራ ከቆየ በኋላ በመሳሪያው ውስጥ የነዳጅ ፊልም ሊፈጠር ይችላል.

ለማጠቃለል, የቫኩም ንፅህና መሳሪያዎች የቫኩም መሳሪያዎችን, የቫኩም ሲስተም, የቫኩም ሂደትን ማምረት እና ሌሎች ገጽታዎች እና አገናኞች, እንዲሁም የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎችን እና የአጠቃቀም ሁኔታዎችን ልዩ የቫኩም ሂደትን ያካትታል.ስለዚህ የቫኩም ብክለት ትኩረት ሊሰጠው የሚገባ ችግር ነው, ምክንያቱም እነዚህ ብክለት የመሳሪያውን አፈፃፀም ላይ ተጽእኖ ስለሚያሳድሩ, ለመደበኛ ወይም በማንኛውም ጊዜ ለማጽዳት ትኩረት መስጠት አለበት.