የቫኩም ትነት ሽፋን መርህ
1, የቫኩም ትነት ሽፋን መሳሪያዎች እና አካላዊ ሂደት
የቫኩም ትነት መሸፈኛ መሳሪያዎች በዋናነት ከቫኩም ክፍል እና የማስወገጃ ስርዓት የተዋቀሩ ናቸው.በቫኩም ክፍል ውስጥ የትነት ምንጭ (ማለትም የትነት ማሞቂያ) ፣ የከርሰ ምድር እና የፍሬም ፍሬም ፣ የሙቀት ማሞቂያ ፣ የጭስ ማውጫ ስርዓት ፣ ወዘተ.
የሽፋኑ ቁሳቁስ በቫኪዩም ክፍል ውስጥ በሚወጣው የትነት ምንጭ ውስጥ ይቀመጣል ፣ እና በከፍተኛ የቫኩም ሁኔታዎች ውስጥ ፣ ለመተንፈሻ ምንጭ ይሞቃል።አማካኝ የነጻው የእንፋሎት ሞለኪውሎች ከቫኩም ክፍሉ መስመራዊ መጠን ሲበልጥ፣የፊልሙ አተሞች እና ሞለኪውሎች በትነት ምንጭ ላይ ከወጡ በኋላ የሌሎች ሞለኪውሎች ወይም አቶሞች ግጭት እምብዛም አይስተጓጎልም። እና በቀጥታ የሚቀባው የንጣፉን ገጽታ በቀጥታ ይደርሳል.በዝቅተኛ የሙቀት መጠን ምክንያት, የፊልም ትነት ቅንጣቶች በላዩ ላይ ተጣብቀው ፊልም ይሠራሉ.
የትነት ሞለኪውሎች እና substrate ያለውን ታደራለች ለማሻሻል እንዲቻል, substrate በአግባቡ ማሞቂያ ወይም ion ጽዳት ሊነቃ ይችላል.የቫኩም ትነት ሽፋን ከቁስ መትነን, መጓጓዣ ወደ ፊልም ለማስገባት በሚከተሉት አካላዊ ሂደቶች ውስጥ ያልፋል.
(1) ሌሎች የኃይል ዓይነቶችን ወደ የሙቀት ኃይል ለመለወጥ የተለያዩ መንገዶችን በመጠቀም ፣ የፊልሙ ቁሳቁስ እንዲተነተን ወይም ወደ ጋዝ ቅንጣቶች (አተሞች ፣ ሞለኪውሎች ወይም አቶሚክ ክላስተር) በተወሰነ የኃይል መጠን (0.1 እስከ 0.3 eV) እንዲሞቅ ይደረጋል።
(2) የጋዝ ቅንጣቶች የፊልሙን ወለል ይተዋል እና በተወሰነ የእንቅስቃሴ ፍጥነት ፣ በመሠረቱ ያለ ግጭት ፣ በቀጥተኛ መስመር ወደ ወለሉ ወለል ይጓጓዛሉ።
(3) ወደ substrate ወለል ላይ የሚደርሱት የጋዝ ቅንጣቶች ይሰባሰባሉ እና ያስቆጣሉ እና ከዚያም ወደ ጠንካራ-ደረጃ ፊልም ያድጋሉ።
(4) ፊልሙን የሚሠሩትን አቶሞች እንደገና ማደራጀት ወይም ኬሚካላዊ ትስስር።
2, የትነት ማሞቂያ
(1) የመቋቋም ማሞቂያ ትነት
የመቋቋም ማሞቂያ ትነት በጣም ቀላሉ እና በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የማሞቅ ዘዴ ነው, በአጠቃላይ ከ 1500 ℃ በታች የሆኑ ቁሳቁሶችን ለመድፈን ተግባራዊ ይሆናል, በሽቦ ወይም በቆርቆሮ ቅርጽ (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, ወዘተ.) ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ ብረቶች ናቸው. ብዙውን ጊዜ ተስማሚ የሆነ የትነት ምንጭ ቅርፅ የተሰራ ፣ በእንፋሎት ቁሳቁሶች የተሸከመ ፣ በ ጁል የኤሌክትሪክ ወቅታዊ ሙቀት በኩል ለመቅለጥ ፣ ለመተን ወይም ለመቅለጥ ፣ የትነት ምንጭ ቅርፅ በዋናነት ባለብዙ-ክር ክብ ፣ ዩ-ቅርፅ ፣ ሳይን ሞገድ ያካትታል ። , ቀጭን ሳህን, ጀልባ, ሾጣጣ ቅርጫት, ወዘተ በተመሳሳይ ጊዜ, ዘዴ ከፍተኛ መቅለጥ ነጥብ, ዝቅተኛ ሙሌት የእንፋሎት ግፊት, የተረጋጋ ኬሚካላዊ ባህሪያት, ከፍተኛ ሙቀት ላይ ያለውን ሽፋን ቁሳዊ ጋር ኬሚካላዊ ምላሽ የላቸውም, የትነት ምንጭ ቁሳዊ ይጠይቃል. ጥሩ ሙቀት መቋቋም, የኃይል ጥግግት ላይ ትንሽ ለውጥ, ወዘተ ሙቀት እና የፊልም ማቴሪያሎችን በቀጥታ በማሞቅ እንዲተን ለማድረግ በትነት ምንጭ በኩል ከፍተኛ ጅረት ይቀበላል, ወይም ግራፋይት እና አንዳንድ ከፍተኛ ሙቀት ተከላካይ የሆነ ክሩሺብል ውስጥ የፊልም ማቴሪያል ማስቀመጥ. የብረት ኦክሳይድ (እንደ A202፣ B0 ያሉ) እና ሌሎች ለማትነን በተዘዋዋሪ ለማሞቅ የሚረዱ ቁሳቁሶች።
የመቋቋም ማሞቂያ ትነት ሽፋን ውሱንነቶች አሉት: refractory ብረቶች ቀጭን ፊልም ለማድረግ አስቸጋሪ ነው ዝቅተኛ የእንፋሎት ግፊት አላቸው;አንዳንድ ንጥረ ነገሮች ከማሞቂያ ሽቦ ጋር ቅይጥ ለመፍጠር ቀላል ናቸው ፣የአሎይ ፊልም አንድ ወጥ የሆነ ቅንብር ማግኘት ቀላል አይደለም.ምክንያቱም ቀላል መዋቅር, ዝቅተኛ ዋጋ እና የመቋቋም ማሞቂያ ትነት ዘዴ ቀላል ክወና, በጣም የተለመደ የትነት ዘዴ ነው.
(2) የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ ትነት
የኤሌክትሮን ጨረሮች ትነት የውሃ ማቀዝቀዣ የመዳብ ክሬዲት ውስጥ በማስቀመጥ ከፍተኛ ኃይል ባለው የኤሌክትሮን ጨረር በቦምብ በመወርወር የሽፋን ቁሳቁሶችን የማትነን ዘዴ ነው።የትነት ምንጭ የኤሌክትሮን ልቀት ምንጭ፣ የኤሌክትሮን የፍጥነት ኃይል ምንጭ፣ ክሩሺብል (ብዙውን ጊዜ የመዳብ ክሩብል)፣ መግነጢሳዊ መስክ ኮይል እና የማቀዝቀዣ ውሃ ስብስብ፣ ወዘተ ያካትታል በዚህ መሳሪያ ውስጥ የሚሞቀው ነገር በውሃ ውስጥ ይቀመጣል። -Cooled crucible, እና የኤሌክትሮን ጨረር ቦምብ በጣም ትንሽ የሆነ የቁሳቁስን ክፍል ብቻ ነው, አብዛኛው የተረፈው ንጥረ ነገር በቅዝቃዜው ተፅእኖ ስር በጣም ዝቅተኛ በሆነ የሙቀት መጠን ይቀራሉ, ይህም እንደ ቦምብ የተሸፈነው ክፍል ሊቆጠር ይችላል.ስለዚህ የኤሌክትሮን ጨረሮችን ለማትነን የማሞቅ ዘዴ በሸፈነው ቁሳቁስ እና በእንፋሎት ምንጭ መካከል ያለውን ብክለት ማስወገድ ይችላል.
የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጭ አወቃቀር በሶስት ዓይነቶች ሊከፈል ይችላል-ቀጥታ ጠመንጃዎች (ቡልስ ጠመንጃዎች) ፣ የቀለበት ጠመንጃዎች (በኤሌክትሪክ የሚገለሉ) እና ኢ-ሽጉጥ (መግነጢሳዊ አቅጣጫዊ)።አንድ ወይም ከዚያ በላይ ክራንች በአንድ ጊዜ ወይም በተናጥል ብዙ የተለያዩ ንጥረ ነገሮችን ሊተን በሚችል በትነት ቦታ ውስጥ ሊቀመጡ ይችላሉ።
የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጮች የሚከተሉት ጥቅሞች አሏቸው።
①የኤሌክትሮን ጨረር ቦምብ መትነን ምንጭ ከፍተኛ የጨረር ጥግግት እንደ ደብሊው, ሞ, አል2O3, ወዘተ የመሳሰሉ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥቦችን ከሚያስወግድ የመቋቋም ማሞቂያ ምንጭ የበለጠ የኃይል ጥንካሬን ማግኘት ይችላል.
②የመሸፈኛ ቁሳቁስ በውሃ የቀዘቀዘ የመዳብ ክሬዲት ውስጥ ተቀምጧል, ይህም የእንፋሎት ምንጭ ቁሳቁሶችን መትነን እና በመካከላቸው ያለውን ምላሽ ማስወገድ ይችላል.
③ ሙቀት በቀጥታ በሸፈነው ቁሳቁስ ወለል ላይ መጨመር ይቻላል, ይህም የሙቀት ቅልጥፍናን ከፍ ያደርገዋል እና የሙቀት ማስተላለፊያ እና የሙቀት ጨረር መጥፋት ዝቅተኛ ያደርገዋል.
የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ የትነት ዘዴ ጉዳቱ ከኤሌክትሮን ሽጉጥ ዋና ኤሌክትሮኖች እና ሁለተኛ ኤሌክትሮኖች ከሽፋኑ ቁሳቁስ ወለል ላይ የሚተኑ አተሞችን እና ቀሪ የጋዝ ሞለኪውሎችን ionize ያደርጋሉ ፣ ይህም አንዳንድ ጊዜ የፊልም ጥራት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።
(3) ከፍተኛ ድግግሞሽ induction ማሞቂያ ትነት
ከፍተኛ-ድግግሞሽ induction ማሞቂያ ትነት ከፍተኛ-ድግግሞሽ ጠመዝማዛ ጠምዛዛ መሃል ላይ ልባስ ቁሳዊ ጋር crucible ማስቀመጥ ነው, ስለዚህ ልባስ ቁሳዊ ከፍተኛ ድግግሞሽ የኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ ያለውን induction ስር ኃይለኛ Eddy የአሁኑ እና hysteresis ውጤት ያመነጫል, ይህም ምክንያት እስኪተን እና እስኪተን ድረስ ለማሞቅ የፊልም ንብርብር.የትነት ምንጭ በአጠቃላይ በውሃ የቀዘቀዘ ከፍተኛ-ድግግሞሽ ኮይል እና ግራፋይት ወይም ሴራሚክ (ማግኒዥየም ኦክሳይድ፣ አልሙኒየም ኦክሳይድ፣ ቦሮን ኦክሳይድ ወዘተ) ክሩሺብልን ያካትታል።ከፍተኛ ድግግሞሽ የኃይል አቅርቦት ከአስር ሺህ እስከ ብዙ መቶ ሺህ Hz ድግግሞሽ ይጠቀማል, የግብአት ሃይል ከበርካታ እስከ ብዙ መቶ ኪሎዋትስ ነው, አነስተኛ መጠን ያለው የሜምቦል ቁስ አካል, የመግቢያ ድግግሞሽ ከፍ ያለ ነው.የኢንደክሽን ኮይል ድግግሞሽ አብዛኛውን ጊዜ በውሃ ከተቀዘቀዘ የመዳብ ቱቦ የተሰራ ነው.
የከፍተኛ-ድግግሞሽ ኢንዳክሽን ማሞቂያ ትነት ዘዴ ጉዳቱ የግቤት ኃይልን በጥሩ ሁኔታ ማስተካከል ቀላል አይደለም, የሚከተሉት ጥቅሞች አሉት.
① ከፍተኛ የትነት መጠን
② የእንፋሎት ምንጭ የሙቀት መጠኑ አንድ አይነት እና የተረጋጋ ነው, ስለዚህ የመሸፈኛ ጠብታዎች ነጠብጣብ ክስተትን ለማምረት ቀላል አይደለም, እና በተቀማጭ ፊልም ላይ የፒንሆልስ ክስተትን ማስወገድ ይችላል.
③ የእንፋሎት ምንጭ አንድ ጊዜ ተጭኗል፣ እና የሙቀት መጠኑ በአንጻራዊነት ቀላል እና ለመቆጣጠር ቀላል ነው።
የልጥፍ ሰዓት፡- ኦክቶበር 28-2022