GX600

الجهاز يعتمد هيكل الباب الأمامي العمودي وتخطيط الكتلة.يمكن أن تكون مجهزة بمصادر تبخير للمعادن والمواد العضوية المختلفة ، ويمكن أن تتبخر رقائق السيليكون ذات المواصفات المختلفة.مُجهزة بنظام المحاذاة الدقيق ، الطلاء مستقر وله قابلية تكرار جيدة.
يمكن لمعدات الطلاء GX600 أن تتبخر المواد العضوية الباعثة للضوء أو المواد المعدنية بدقة وبشكل متساو ويمكن التحكم بها على الركيزة.تتميز بمزايا تشكيل الفيلم البسيط والنقاء العالي والضغط العالي.يمكن لنظام مراقبة الوقت الحقيقي لسمك الفيلم الأوتوماتيكي بالكامل ضمان تكرار العملية واستقرارها.وهي مجهزة بوظيفة الصهر الذاتي لتقليل الاعتماد على مهارات المشغل.
يمكن تطبيق المعدات على Cu ، Al ، Co ، Cr ، Au ، Ag ، Ni ، Ti وغيرها من المواد المعدنية ، ويمكن طلاءها بغشاء معدني ، طبقة عازلة ، فيلم IMD ، إلخ. وهي تستخدم بشكل أساسي في أشباه الموصلات الصناعة ، مثل أجهزة الطاقة ، طلاء الركيزة الخلفية للتغليف شبه الموصل ، إلخ.