HFCVD0606

تتبنى غرفة الطلاء بالفراغ لمعدات ترسيب البخار الكيميائي هيكل تبريد الماء بطبقتين مستقلتين ، وهو فعال وموحد في التبريد ، وله هيكل آمن ومستقر.تم تصميم الجهاز بأبواب مزدوجة ونوافذ مراقبة متعددة وواجهات توسع متعددة ، وهو مناسب للتوصيل الخارجي للأجهزة الطرفية المساعدة مثل قياس درجة الحرارة بالأشعة تحت الحمراء والتحليل الطيفي ومراقبة الفيديو والمزدوج الحراري.يجعل مفهوم التصميم المتقدم عملية الإصلاح والصيانة اليومية وتغيير التكوين وترقية المعدات أمرًا سهلاً وبسيطًا ، ويقلل بشكل فعال من تكاليف الاستخدام والترقية.

ميزات المعدات:

1 تشمل مكونات التضخم للمعدات بشكل أساسي مقياس التدفق الكتلي ، وصمام الملف اللولبي وخزان خلط الغاز ، والتي تضمن التحكم الدقيق في تدفق غاز العملية ، والخلط المنتظم والعزل الآمن للغازات المختلفة ، ويمكن أن تختار مكونات نظام الغاز لاستخدام مصدر للغاز السائل ، يسهل الاختيار الشخصي لمجموعة واسعة من مصادر الكربون السائل ، والاستخدام الآمن للماس الصناعي الموصّل ومصادر البورون السائل للإلكترود.
2 تم تجهيز مجموعة شفط الهواء بمضخة فراغ دوارة صامتة وفعالة ونظام مضخة توربو الجزيئية التي يمكن أن تلبي بسرعة بيئة الخلفية عالية الفراغ.يتم استخدام مقياس الفراغ المركب مع مقياس المقاومة ومقياس التأين لقياس الفراغ ، بالإضافة إلى نظام قياس الفيلم السعوي الذي يمكنه قياس ضغط غازات المعالجة المختلفة في نطاق واسع.يتم التحكم في ضغط الترسيب أوتوماتيكيًا بالكامل بواسطة صمام تحكم تناسبي عالي الدقة.
3 تم تجهيز مكون مياه التبريد بقنوات متعددة لضغط المياه والتدفق وقياس درجة الحرارة والمراقبة التلقائية بالبرمجيات.مكونات التبريد المختلفة مستقلة عن بعضها البعض ، مما يجعلها ملائمة لتشخيص الأعطال السريع.تحتوي جميع الفروع على مفاتيح صمامات مستقلة ، وهي آمنة وفعالة.
4 تتبنى مكونات التحكم الكهربائي شاشة LCD كبيرة الحجم للواجهة بين الإنسان والآلة وتتعاون مع التحكم الأوتوماتيكي الكامل PLC لتسهيل تحرير واستيراد صيغة العملية.يعرض المنحنى الرسومي بصريًا التغييرات والقيم للمعلمات المختلفة ، ويتم تسجيل معلمات المعدات والعملية وحفظها تلقائيًا لتسهيل تتبع المشكلات والتحليل الإحصائي للبيانات.
5 رف الشغل مجهز بمحرك مؤازر للتحكم في رفع وخفض طاولة الركيزة.يمكن اختيار جدول الركيزة الجرافيت أو النحاس الأحمر.يتم قياس درجة الحرارة بواسطة مزدوج حراري.
6.يمكن تصميم مكونات الرف ككل أو بشكل منفصل وفقًا لمتطلبات العملاء لتلبية متطلبات المناولة الخاصة للعملاء.
7. مكونات لوحة الختم جميلة وأنيقة.يمكن فك أو فتح وإغلاق ألواح الختم في مناطق الوحدات الوظيفية المختلفة للمعدة بشكل مستقل ، وهو أمر مريح للغاية للاستخدام.

معدات CVD ذات الفتيل الساخن مناسبة لإيداع مواد الماس ، بما في ذلك طلاء الأغشية الرقيقة ، والأغشية السميكة ذاتية الدعم ، والماس الجريزوفولفين والنانوكريستال ، والماس الموصل ، وما إلى ذلك ، وهي تستخدم بشكل أساسي للطلاء الواقي المقاوم للاهتراء لأدوات قطع كربيد الأسمنت ، ومواد أشباه الموصلات مثل السيليكون وكربيد السيليكون ، طلاء تبديد الحرارة للأجهزة ، قطب كهربائي ماسي موصل بالبورون ، تطهير الأوزون للمياه الإلكتروليتية أو معالجة مياه الصرف الصحي.