مع النمو السريع لطلب السوق لتحسين مقاومة التآكل والتشحيم ومقاومة التآكل وخصائص أخرى للطلاء الصلب ، أصبحت معدات الطلاء الأيوني بالترشيح المغناطيسي للقوس المهبطي من أبرز المعالم.تتبنى المعدات جهاز الترشيح المغناطيسي بقسم دائري الكوع 90 درجة الأكثر استخدامًا وفعالية ، والذي يمكنه إزالة الجسيمات الكبيرة بشكل فعال ، وذلك لإفساح المجال كاملاً لمزايا تقنية طلاء القوس الكاثودي الأيوني.في مجال تحضير طلاءات DLC فائقة الصلابة ، خاصة في مجال تحضير طلاءات Ta-C مع العديد من الخصائص الفيزيائية والكيميائية الممتازة ، مثل الصلابة العالية ، معامل الاحتكاك المنخفض ، التوصيل الحراري ، العزل ، امتصاص الأشعة فوق البنفسجية ، مقاومة التلف الإشعاعي ، مقاومة التآكل ، وما إلى ذلك ، فإن المزايا لها أهمية خاصة.يمكن أن يصل متوسط صلابة طلاءات Ta-C إلى حوالي 63GPa.
يمكن للمعدات ترسيب طلاءات الكربون الشبيهة بالماس الهجين مثل Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN ، وهي مناسبة للحفر الدقيق ، وقواطع الطحن ، والصنابير ، والقواطع على شكل قضيب ، وقطع غيار السيارات ، والأجهزة الطبية وغيرها مجالات.
نتائج اختبار طيف رامان بالليزر ، طيف رامان لطبقة Cr انتقالية على سطح الفولاذ عالي السرعة:
عينة 20210122 ، تركيب غاوسي لنتائج اختبار رامان (ID / IG = 0.224 ، محتوى sp3 مرتفع بدرجة كافية):
وفقًا لنتائج اختبار الصلابة لأداة المسافة البادئة بالنانو ، فإن متوسط صلابة العينة 20210122 هو 62.7GPa:
MFA0605 |
φ600 * H500 (مم) |