1. خصائص تدفق الإلكترون الخفيف القوسي
كثافة تدفق الإلكترون وتدفق الأيونات والذرات المحايدة عالية الطاقة في بلازما القوس المتولدة عن تفريغ القوس أعلى بكثير من تفريغ الوهج.هناك المزيد من أيونات الغاز والأيونات المعدنية المتأينة ، والذرات عالية الطاقة المتحمسة ، والمجموعات النشطة المختلفة في مساحة الطلاء ، والتي تلعب دورًا مهمًا في مراحل التسخين ، والتنظيف ، والطلاء لعملية الطلاء.يختلف شكل عمل تدفق الإلكترون القوسي عن شكل الحزمة الأيونية ، التي لا تتقارب جميعها في "حزمة" ، ولكن في الغالب في حالة تباعد ، لذلك يطلق عليها اسم تدفق الإلكترون القوسي.نظرًا لأن إلكترونات القوس تتدفق نحو الأنود ، يتم توجيه تدفق الإلكترون القوسي حيثما يتم توصيل القطب الموجب لمصدر طاقة القوس ، ويمكن أن يكون الأنود قطعة عمل ، أو أنود إضافي ، أو بوتقة ، إلخ.
2- طريقة توليد قوس إلكترون التدفق
(1) يولد مصدر الغاز تدفق إلكترون قوسي: تيار القوس لتفريغ قوس الكاثود المجوف وتفريغ قوس السلك الساخن يمكن أن يصل إلى حوالي 200 أمبير ، ويكون جهد القوس 50-70 فولت.
(2) مصدر صلب يولد تدفق إلكترون قوس: مصدر قوس كاثود ، بما في ذلك مصدر قوس صغير ، مصدر قوس أسطواني ، مصدر قوس مستطيل كبير ، إلخ. التيار القوسي لكل تفريغ لمصدر قوس كاثود هو 80-200A ، ويكون جهد القوس 18-25 فولت.
يمكن أن يؤدي تدفق الإلكترون القوسي عالي الكثافة ومنخفض الطاقة في نوعين من بلازما تفريغ القوس إلى تأين تصادم شديد مع ذرات غشاء من الغاز والمعدن ، والحصول على المزيد من أيونات الغاز والأيونات المعدنية والعديد من الذرات والمجموعات النشطة عالية الطاقة ، وبالتالي تحسين النشاط الكلي لأيونات طبقة الفيلم.
- صدر هذا المقال من قبل Guangdong Zhenhua ، أالشركة المصنعة لآلة طلاء الفراغ
الوقت ما بعد: 31 مايو - 2023