قابلية جيدة للتحكم والتكرار في سماكة الفيلم
ما إذا كان يمكن التحكم في سماكة الفيلم بقيمة محددة مسبقًا يسمى قابلية التحكم في سماكة الفيلم.يمكن تكرار سماكة الفيلم المطلوبة لمرات عديدة ، وهو ما يسمى قابلية تكرار سماكة الفيلم ، لأنه يمكن التحكم في تيار التفريغ والتيار المستهدف لطلاء الرش بالتفريغ بشكل منفصل.لذلك ، يمكن التحكم في سمك الفيلم المرشح ، ويمكن ترسيب الفيلم ذي السماكة المحددة مسبقًا بشكل موثوق.بالإضافة إلى ذلك ، يمكن لطلاء الرشاش الحصول على فيلم بسماكة موحدة على سطح كبير.
② التصاق قوي بين الفيلم والركيزة
طاقة الذرات المبعثرة أعلى بمقدار 1-2 مرات من طاقة الذرات المتبخرة.إن تحويل الطاقة للذرات المبعثرة عالية الطاقة المترسبة على الركيزة أعلى بكثير من تلك الموجودة في الذرات المتبخرة ، مما يولد حرارة أعلى ويعزز الالتصاق بين الذرات المبعثرة والركيزة.بالإضافة إلى ذلك ، تنتج بعض الذرات المبعثرة عالية الطاقة درجات مختلفة من الحقن ، وتشكل طبقة الانتشار الكاذب على الركيزة.بالإضافة إلى ذلك ، يتم تنظيف وتنشيط الركيزة دائمًا في منطقة البلازما أثناء عملية تشكيل الفيلم ، مما يزيل الذرات المتطايرة ذات الالتصاق الضعيف ، وينقي سطح الركيزة وينشطه.لذلك ، فإن الفيلم المتناثر لديه التصاق قوي بالركيزة.
يمكن تحضير فيلم جديد يختلف عن الهدف
إذا تم إدخال غاز تفاعلي أثناء الرش لجعله يتفاعل مع الهدف ، فيمكن الحصول على فيلم مادة جديد مختلف تمامًا عن الهدف.على سبيل المثال ، يتم استخدام السيليكون كهدف رشاش ، ويتم وضع الأكسجين والأرجون معًا في غرفة التفريغ.بعد الرش ، يمكن الحصول على فيلم SiOz العازل.باستخدام التيتانيوم كهدف رشاش ، يتم وضع النيتروجين والأرجون في حجرة التفريغ معًا ، ويمكن الحصول على المرحلة التي تشبه غشاء TiN الذهبي بعد الرش.
④ نقاء عالي وجودة جيدة للفيلم
نظرًا لعدم وجود مكون بوتقة في جهاز تحضير فيلم الرش ، لن يتم خلط مكونات مادة تسخين البوتقة في طبقة فيلم الرش.تتمثل عيوب الطلاء الرشاش في أن سرعة تشكيل الفيلم تكون أبطأ من سرعة الطلاء بالتبخير ، ودرجة حرارة الركيزة أعلى ، ومن السهل أن تتأثر بغاز الشوائب ، كما أن هيكل الجهاز أكثر تعقيدًا.
تم نشر هذا المقال بواسطة Guangdong Zhenhua ، الشركة المصنعة لـمعدات طلاء الفراغ
الوقت ما بعد: مارس-09-2023