السمات المشتركة لتقنية الطلاء الأيوني المعزز لتفريغ الوهج

1. انحياز قطعة العمل منخفض

نظرًا لإضافة جهاز لزيادة معدل التأين ، يتم زيادة كثافة تيار التفريغ ، ويتم تقليل جهد التحيز إلى 0.5 ~ 1 كيلو فولت.

يتم تقليل التذبذب الناتج عن القصف المفرط للأيونات عالية الطاقة وتأثير الضرر على سطح قطعة العمل.

2. زيادة كثافة البلازما

تمت إضافة تدابير مختلفة لتعزيز تأين الاصطدام ، وزاد معدل تأين المعدن من 3٪ إلى أكثر من 15٪.تزداد كثافة أيونات الذقن والذرات المحايدة عالية الطاقة وأيونات النيتروجين والذرات النشطة عالية الطاقة والمجموعات النشطة في حجرة الطلاء ، مما يؤدي إلى التفاعل لتكوين المركبات.تمكنت تقنيات طلاء أيون التفريغ المحسّن المختلفة المذكورة أعلاه من الحصول على طبقات فيلم صلبة TN من خلال ترسيب التفاعل عند كثافة بلازما أعلى ، ولكن نظرًا لأنها تنتمي إلى نوع تفريغ التوهج ، فإن كثافة تيار التفريغ ليست عالية بما يكفي (لا يزال مستوى mA / cm2 ) ، وكثافة البلازما الكلية ليست عالية بما يكفي ، وعملية طلاء مركب ترسيب التفاعل صعبة.

3. نطاق الطلاء لمصدر التبخر النقطي صغير

تستخدم تقنيات الطلاء الأيوني المحسّن المختلفة مصادر تبخر الحزمة الإلكترونية ، و gantu كمصدر تبخر نقطي ، والذي يقتصر على فترة زمنية معينة فوق gantu لترسب التفاعل ، وبالتالي تكون الإنتاجية منخفضة ، والعملية صعبة ، ومن الصعب التصنيع.

4. عملية الضغط العالي بندقية إلكترونية

جهد مسدس الإلكترون هو 6 ~ 30kV ، والجهد التحيز لقطعة العمل هو 0.5 ~ 3kV ، والذي ينتمي إلى عملية الجهد العالي ولديه بعض مخاطر السلامة.

—— تم إصدار هذا المقال من قبل شركة Guangdong Zhenhua Technology ، أالشركة المصنعة لآلات الطلاء البصري.