مقدمة عن الأساليب التقليدية لترسيب الطلاءات الصلبة

1. تقنية CVD الحرارية

الطلاءات الصلبة هي في الغالب طلاءات خزفية معدنية (TiN ، إلخ) ، والتي تتشكل من تفاعل المعدن في الطلاء والتغويز التفاعلي.في البداية ، تم استخدام تقنية CVD الحرارية لتوفير طاقة تنشيط التفاعل المركب بواسطة الطاقة الحرارية عند درجة حرارة عالية تبلغ 1000 درجة مئوية.درجة الحرارة هذه مناسبة فقط لترسيب TiN والطلاءات الصلبة الأخرى على أدوات كربيد الأسمنت.حتى الآن ، لا يزال من المهم وضع طبقات الطلاء المركبة TiN-Al20 على رؤوس أدوات كربيد الأسمنت.

2. طلاء أيون الكاثود المجوف وطلاء أيون قوس السلك الساخن

في الثمانينيات من القرن الماضي ، تم استخدام طلاء أيون الكاثود المجوف وطلاء أيون قوس السلك الساخن لإيداع أدوات القطع المطلية.كل من تقنيات الطلاء الأيوني هذه عبارة عن تقنيات طلاء أيون بتفريغ القوس ، بمعدل تأين معدني يصل إلى 20٪ ~ 40٪.

3. طلاء أيون قوس الكاثود

أدى ظهور الطلاء الأيوني القوسي الكاثودي إلى تطوير تقنية ترسيب الطلاء الصلب على القوالب.معدل التأين لطلاء أيون القوس الكاثودي هو 60٪ ~ 90٪ ، مما يسمح لعدد كبير من أيونات المعادن وأيونات غاز التفاعل بالوصول إلى سطح قطعة العمل مع الحفاظ على النشاط العالي ، مما يؤدي إلى ترسب التفاعل وتشكيل طبقات صلبة مثل TiN.في الوقت الحاضر ، تُستخدم تقنية الطلاء الأيوني القوسي الكاثودي بشكل أساسي في ترسيب الطلاء الصلب على القوالب.

مصدر قوس الكاثود هو مصدر تبخر ذو حالة صلبة بدون حوض مصهور ثابت ، ويمكن وضع موضع مصدر القوس بشكل تعسفي ، مما يحسن معدل استخدام الفضاء لغرفة الطلاء ويزيد من قدرة تحميل الفرن.تتضمن أشكال مصادر قوس الكاثود مصادر قوس كاثود دائرية صغيرة ، ومصادر قوس عمودي ، ومصادر قوس كبيرة مسطحة مستطيلة.يمكن ترتيب المكونات المختلفة لمصادر القوس الصغيرة ومصادر القوس العمودي ومصادر القوس الكبيرة بشكل منفصل لإيداع الأفلام متعددة الطبقات والأفلام النانوية متعددة الطبقات.وفي الوقت نفسه ، نظرًا لارتفاع معدل التأين المعدني لطلاء القوس الكاثودي الأيوني ، يمكن لأيونات المعادن امتصاص المزيد من غازات التفاعل ، مما يؤدي إلى نطاق عملية واسع وتشغيل بسيط للحصول على طلاء صلب ممتاز.ومع ذلك ، هناك قطرات خشنة في البنية المجهرية لطبقة الطلاء التي تم الحصول عليها عن طريق طلاء أيون القوس الكاثودي.في السنوات الأخيرة ، ظهرت العديد من التقنيات الجديدة لتحسين بنية طبقة الفيلم ، مما أدى إلى تحسين جودة فيلم طلاء أيون القوس.

—— تم إصدار هذا المقال من قبل شركة Guangdong Zhenhua Technology ، أالشركة المصنعة لآلات الطلاء البصري.