عملية البلمرة المباشرة بالبلازما

عملية البلمرة المباشرة بالبلازما

تعتبر عملية بلمرة البلازما بسيطة نسبيًا لكل من معدات بلمرة الإلكترود الداخلية ومعدات بلمرة القطب الخارجي ، ولكن اختيار المعلمات أكثر أهمية في بلمرة البلازما ، لأن المعلمات لها تأثير أكبر على بنية وأداء أغشية البوليمر أثناء بلمرة البلازما.

خطوات تشغيل بلمرة البلازما المباشرة هي كما يلي:

(1) الكنس

يجب ضخ فراغ الخلفية من البلمرة تحت ظروف الفراغ إلى 1.3 × 10-1Pa.بالنسبة لتفاعلات البلمرة التي تتطلب متطلبات خاصة للتحكم في محتوى الأكسجين أو النيتروجين ، فإن متطلبات الفراغ في الخلفية تكون أعلى.

(2) مونومر تفاعل الشحن أو الغاز المختلط للغاز الحامل والمونومر

درجة الفراغ هي 13-130 باسكال.بالنسبة لبلمرة البلازما التي تتطلب العمل ، يجب اختيار وضع التحكم في التدفق المناسب ومعدل التدفق ، بشكل عام 10.100 مل / دقيقة.في البلازما ، تتأين جزيئات المونومر وتتفكك عن طريق قصف الجسيمات النشطة ، مما ينتج عنه جسيمات نشطة مثل الأيونات والجينات النشطة.يمكن للجسيمات النشطة التي يتم تنشيطها بواسطة البلازما أن تخضع لبلمرة البلازما عند واجهة الطور الغازي والمرحلة الصلبة.المونومر هو مصدر سلائف بلمرة البلازما ، ويجب أن يكون لغاز التفاعل والمونومر نقاوة معينة.

(3) اختيار مصدر طاقة الإثارة

يمكن إنشاء البلازما باستخدام مصادر طاقة DC أو عالية التردد أو RF أو الميكروويف لتوفير بيئة بلازما للبلمرة.يتم تحديد اختيار مصدر الطاقة بناءً على متطلبات هيكل وأداء البوليمر.

(4) اختيار وضع التفريغ

بالنسبة لمتطلبات البوليمر ، يمكن أن تختار بلمرة البلازما وضعي تفريغ: التفريغ المستمر أو التفريغ النبضي.

(5) اختيار معلمات التفريغ

عند إجراء بلمرة البلازما ، يجب مراعاة معلمات التفريغ من معلمات البلازما وخصائص البوليمر ومتطلبات الهيكل.يتم تحديد حجم الطاقة المطبقة أثناء البلمرة بحجم غرفة التفريغ ، وحجم القطب ، ومعدل تدفق المونومر وهيكله ، ومعدل البلمرة ، وهيكل البوليمر وأدائه.على سبيل المثال ، إذا كان حجم غرفة التفاعل 1 لتر وتم اعتماد بلمرة بلازما التردد الراديوي ، فإن قوة التفريغ ستكون في نطاق 10 ~ 30W.في ظل هذه الظروف ، يمكن أن تتجمع البلازما المتولدة لتشكل طبقة رقيقة على سطح قطعة العمل.يختلف معدل نمو فيلم بلمرة البلازما باختلاف مصدر الطاقة ونوع المونومر ومعدل التدفق وظروف العملية.بشكل عام ، معدل النمو هو 100nm / min ~ 1um / min.

(6) قياس المعلمة في بلمرة البلازما

تشمل معلمات البلازما ومعلمات العملية التي سيتم قياسها في بلمرة البلازما: جهد التفريغ ، تيار التفريغ ، تردد التفريغ ، درجة حرارة الإلكترون ، الكثافة ، نوع مجموعة التفاعل والتركيز ، إلخ.

—— تم إصدار هذا المقال من قبل شركة Guangdong Zhenhua Technology ، أالشركة المصنعة لآلات الطلاء البصري.