عملية طلاء أيون الكاثود المجوف

تكون عملية طلاء أيون الكاثود المجوف كما يلي:

1 ، ضع سبائك الذقن في الانهيار.

2 ، تركيب الشغل.

3 、 بعد التفريغ إلى 5 × 10-3Pa ، يتم إدخال غاز الأرجون في غرفة الطلاء من الأنبوب الفضي ، ويكون مستوى الفراغ حوالي 100 باسكال.

4 ، قم بتشغيل قوة التحيز.

5 、 بعد تشغيل طاقة القوس لإشعال تفريغ الكاثود المجوف. يتم إنشاء تفريغ الوهج في أنبوب الزر ، جهد التفريغ 800 ~ 1000 فولت ، تيار رفع القوس هو 30 ~ 50 أمبير بسبب تأثير الكاثود المجوف للتوهج التفريغ ، كثافة تيار التفريغ عالية التوهج ، الكثافة العالية لأيونات الفئران في الأنبوب الفضي تقصف جدار الأنبوب الأفضل ، اجعل جدار الأنبوب يسخن بسرعة حتى انبعاث تدفق الإلكترون ، وضع التفريغ من التفريغ المتوهج التغيير المفاجئ إلى تفريغ القوس ، الجهد 40 ~ 70 فولت ، التيار 80 ~ 300 أمبير ، درجة حرارة الأنبوب الفضي أعلى من 2300 كلفن ، ساطع ، ينبعث تيار عالي الكثافة من إلكترونات القوس من الأنبوب ، ويطلق على الأنود.

6 ، تعديل مستوى الفراغ ، مستوى الفراغ لتفريغ التوهج من مسدس الكاثود المجوف حوالي 100 باسكال ، ودرجة الفراغ للطلاء 8 × 10-1 ~ 2 باسكال ، لذلك ، بعد اشتعال تفريغ القوس ، قلل من الأرجون الوارد الغاز في أسرع وقت ممكن ، اضبط مستوى الفراغ على نطاق مناسب للطلاء.

7 、 طبقة أساسية مطلية بالتيتانيوم ، يتدفق الإلكترون على سبيكة معدنية الذقن المنهارة بأكسيد الألومنيوم ، وتحويل الطاقة الحركية إلى طاقة حرارية ، وتبخر معدن الذقن بالتسخين ، وتصل ذرات البخار إلى قطعة العمل لتشكيل فيلم تيتانيوم.

8 、 ترسيب TiN: يتم توفير غاز النيتروجين إلى غرفة الطلاء ، ويتم تأين غاز النيتروجين والذرات المتبخرة إلى أيونات النيتروجين والتيتانيوم ، وفوق البوتقة ، هناك احتمال أعلى للتصادمات غير المرنة لذرات بخار التيتانيوم مع تيارات كثيفة من الإلكترونات منخفضة الطاقة ، معدل تفكك المعدن يصل إلى 20٪ ~ 40٪ ، من المرجح أن تتفاعل أيونات التيتانيوم كيميائيًا مع غاز النيتروجين ، والترسب للحصول على طبقة غشاء نيتريد ، مسدس الكاثود المجوف هو مصدر تبخير ， مصدر آخر أثناء الطلاء ، يجب أيضًا تعديل تيار الملف الكهرومغناطيسي حول البوتقة ، وتركيز شعاع الإلكترون على مركز الانهيار ، وبالتالي ، تزداد كثافة طاقة تدفق الإلكترون.

9 、 إيقاف التشغيل بعد أن يصل سمك الفيلم إلى سمك الفيلم المحدد مسبقًا ، قم بإيقاف تشغيل مصدر طاقة القوس 、 مصدر طاقة التحيز وإمدادات الهواء.